[发明专利]一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统及对接方法

权利要求书

1.一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，包括分子束外延主体(1)、不间断电源(2)、移动车架(3)和涡旋式干泵(4)，移动车架(3)上设涡旋式干泵(4)、控制器(42)和连接控制器(42)的不间断电源(2)，分子束外延主体(1)设在移动车架(3)顶部，并与涡旋式干泵(4)连通；

所述分子束外延主体包括一个真空腔体(21)和连通在真空腔体(21)下方侧壁的分子泵(22)和小型溅射离子泵(23)，依次连通在真空腔体(21)上方侧壁的反射式高能电子衍射仪的电子枪(29)、玻璃观察窗(31)、传样杆(26)、观察屏(28)和用于连接晶体振荡仪的接口(32)；在真空腔体(21)的底壁和小型溅射离子泵(23)上方两侧分别设有分子束蒸发源及接口(24)；在真空腔体(21)上下侧壁设有手阀(210)和支架(211)。

2.根据权利要求1所述的一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，所述分子泵(22)和小型溅射离子泵(23)连通在真空腔体(21)下方侧壁上，由涡旋式干泵(4)连通真空腔体(21)的分子泵(22)，并和小型溅射离子泵(23)构成抽气系统。

3.根据权利要求1所述的一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，由分子束蒸发源及接口(24)、基片支座(25)、传样杆(26)、手阀(210)构成传输样品与生长样品系统。

4.根据权利要求1所述的一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，由反射式高能电子衍射仪的观察屏(28)、反射式高能电子衍射仪的电子枪(29)构成原位表征系统。

5.根据权利要求1所述的一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，所述连通分子泵(22)的管道上连通有准确测量抽气系统真空的热阴极离子规(27)。

6.一种权利要求1所述系统的超高真空对接方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)关闭本超高真空镀膜系统的分子泵(22)与涡旋式干泵(4)，依靠不间断电源(2)给小型溅射离子泵(23)供电以维持超高真空10^-8Pa；

2)保持目标超高真空系统(55)静止，并已经处于超高真空状态10^-8Pa；

3)将本超高真空镀膜系统的手阀(210)通过三通(51)分别与泵组(53)和目标超高真空系统(55)的手阀B(54)连通，保持手阀(210)与手阀B(54)的法兰处于同一轴心；

4)启动泵组(53)，等待连接处的真空度达到要求值10^-8Pa；

5)开启两个手阀，使用传样杆(26)对超高真空系统(55)传样或者取样；

6)样品传输完毕后，关闭手阀(210)和超高真空系统(55)的手阀B(54)，停止抽真空，并通过泵组(53)对连接处放气直到气压恢复到接近一个大气压；至此断开连接处的三通(51)，移走本系统。