[发明专利]感光性树脂组成物以及使用其的图案化方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组成物，包括：

聚羟基苯乙烯树脂；

感光剂；

交联剂；

遮光剂，选自由苯亚甲基酯系化合物与姜黄素所组成的群组；

添加剂；以及

溶剂，

其中相对于100重量份的所述聚羟基苯乙烯树脂，所述遮光剂的添加量为2重量份至20重量份，

其中所述苯亚甲基酯系化合物以及所述姜黄素的重量比为3:1至1:1，

其中以所述感光性树脂组成物的总重量计，所述聚羟基苯乙烯树脂的添加量为75wt％至85wt％，所述感光剂的添加量为0.1wt％至2wt％，所述交联剂的添加量为10wt％至20wt％，所述添加剂的添加量为0.01wt％至1wt％。

2.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其中所述感光剂为选自由三嗪类化合物、苯乙酮化合物、二苯基酮化合物、二咪唑化合物、硫杂蒽酮化合物、醌类化合物、酰膦氧化物(acylphosphine oxide)及酰肟系化合物(acyl oxime)所组成之族群中的任一者。

3.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其中所述交联剂包括三聚氰胺系化合物。

4.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其中所述感光剂与所述遮光剂的添加比例为1:3至1:7。

5.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其中以所述感光性树脂组成物的总重量计，所述遮光剂的添加量为1wt％至5wt％。

6.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其中所述添加剂包括氟系表面活性剂。

7.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其中所述溶剂包括乳酸乙酯(ethyllactate)、丙二醇单甲醚乙酸酯(propylene glycol methyl ether acetate，PGMEA)、N-甲基-2-吡咯烷酮(N-methyl-2-pyrrolidone)、N,N-二甲基乙酰胺(N,N-dimethylacetamide)、二甲基甲酰胺(dimethylformamide，DMF)、二甲基亚砜(dimethylsulfoxide，DMSO)、乙腈(acetonitrile)、二甘二甲醚(diglyme)、γ-丁内酯(γ-butyrolactone)、苯酚(phenol)、环己酮(cyclohexanone)或其组合。

8.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其中所述感光性树脂组成物的固成分为25wt％至50wt％。

9.一种图案化方法，使用如权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组成物，包括：

将感光性树脂组成物涂布在基板上；

曝光所述感光性树脂组成物；以及

显影所述感光性树脂组成物的未曝光部分，以形成具有倒锥状图案的光阻膜。

10.如权利要求9所述的图案化方法，其中所述光阻膜的厚度为1μm至10μm。

11.如权利要求9项所述的图案化方法，其中在曝光所述感光性树脂组成物之前，进行温度为80℃至100℃且时间为1分钟至5分钟的预烤程序。

12.如权利要求9所述的图案化方法，其中在曝光所述感光性树脂组成物之后，进行温度为80℃至100℃且时间为1分钟至5分钟的后烤程序。

13.如权利要求9所述的图案化方法，其中所述光阻膜在其侧壁与所述基板之间具有45°至52°的角度。

14.如权利要求9所述的图案化方法，更包括以250℃以下的温度加热所述光阻膜之后，使用剥离液剥离所述光阻膜。

15.如权利要求14所述的图案化方法，其中所述剥离液包括乙醇胺、二甘醇胺或烷基季铵盐类。