[发明专利]一种检测装置、设备及方法

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，应用于检测垂直腔面发射激光器；

所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；

所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；

所述移动件用于移动所述相机；

所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述放大成像系统包括显微物镜和镜筒；所述显微物镜设置在所述镜筒的一端，所述待测的垂直腔面发射激光器置于所述显微物镜远离所述镜筒的一侧。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述放大成像系统还包括管透镜；所述管透镜设置在所述镜筒的另一端，所述管透镜与所述显微物镜位于所述镜筒的相对两端。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述移动件包括连接件、滑轨以及电机；所述连接件与所述相机连接，所述连接件置于所述滑轨上，所述电机用于驱动所述连接件沿着所述滑轨的轨道移动，以移动所述相机。

5.一种检测设备，其特征在于，应用于检测垂直腔面发射激光器，所述检测设备包括：操作台以及置于所述操作台上的如权利要求1-4中任一项所述检测装置。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括固定件；

所述固定件置于所述操作台上，所述固定件用于固定所述待测的垂直腔面发射激光器。

7.一种检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1-4中任一项所述的检测装置；所述方法包括：

开启所述待测的垂直腔面发射激光器；

将所述相机移动至第一位置、第二位置和第三位置，分别获取所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光在所述第一位置处的第一图像、在所述第二位置处的第二图像以及在所述第三位置处的第三图像；

根据所述第一图像、所述第二图像以及所述第三图像，确定远场位置；

将所述相机移动至所述远场位置处，获取第四图像；

根据所述第一图像、所述第二图像、所述第三图像以及所述第四图像，得到所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光的发散角以及光束质量。

8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述根据所述第一图像、所述第二图像以及所述第三图像，确定远场位置，包括：

将所述第一图像中的光斑、所述第二图像中的光斑以及第三图像中的光斑通过抛物线拟合，得到像方最小光斑；

根据所述像方最小光斑求得瑞利长度；

根据所述瑞利长度确定远场位置。

9.根据权利要求8所述的测量方法，其特征在于，所述根据所述像方最小光斑求得瑞利长度，包括：

将所述像方最小光斑除以放大成像系统的放大倍数，得到物方最小光斑；

根据所述物方最小光斑求得瑞利长度。

10.根据权利要求9所述的测量方法，其特征在于，所述根据所述第一图像、所述第二图像、所述第三图像以及所述第四图像，得到所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光的发散角以及光束质量，包括：

根据所述第一图像中的光斑、所述第二图像中的光斑以及第三图像中的光斑通过抛物线拟合后得到像方最小光斑，进而得到所述像方最小光斑的顶点位置；

根据所述第四图像，得到所述远场位置处的光斑大小；

根据所述像方最小光斑的顶点位置、所述像方最小光斑、所述远场位置以及所述远场位置处的光斑大小得到所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光的发散角以及光束质量。