[发明专利]一种金刚石单点车辅助离子束抛光金属镜的方法

权利要求书

1.一种金刚石单点车辅助离子束抛光金属镜的方法，其特征在于，该方法包括：

1)首先检测待加工金属镜的面形误差，并利用金刚石单点车进行面形误差修正，将面形误差修正到rms值优于30nm，得到PV值；

2)调整金刚石单点车的工作参数，设定主轴转速、x进给和切入深度；

3)利用金刚石单点车对金属镜进行均匀的材料去除，在金属镜表面获得一层均匀的下表面破坏层，下表面破坏层厚度为h，满足h≥PV；

4)利用干涉仪检测金属镜的面形误差；

5)调整离子束抛光工艺参数，设定离子能量、工作距离和工作气体，根据上述工艺参数对应的离子束抛光去除函数，计算得到离子束加工驻留时间分布矩阵M；

6)根据驻留时间分布矩阵M，得到离子束加工过程中的材料去除厚度d，引入去除深度调整因子n，n1，若dh，则可按照5)中的驻留时间矩阵M加工，若dh,则调整n的大小，使ndh,再用n乘以驻留时间分布矩阵M得到新的驻留时间分布矩阵N，按照新的驻留时间矩阵N进行离子束加工，确保离子束加工过程中的材料去除厚度小于等于镜面下表面破坏层厚度h，利用离子束抛光对金属镜进行面形误差修正；

7)检测金属镜的面形误差分布及表面粗糙度，若满足要求则结束抛光，若不满足要求，则从步骤2)开始循环，直到满足面形误差rms值10nm，表面粗糙度2nm，完成金属镜加工。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石单点车辅助离子束抛光金属镜的方法，其特征在于，所述步骤2)中，设定主轴转速为500-2000rpm，x进给为1-5mm/min，切入深度为1-10μm。

3.根据权利要求1所述的一种金刚石单点车辅助离子束抛光金属镜的方法，其特征在于，所述步骤5)中，离子能量低于800eV，工作距离为30-50mm，工作气体为氩气。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石单点车辅助离子束抛光金属镜的方法，其特征在于，所述步骤6)中，采用正向卷积算法计算得到离子束加工过程中的材料去除厚度d。