[发明专利]纳米机器人以及纳米机器人的制作方法

权利要求书

1.一种纳米机器人，其特征在于，所述纳米机器人的制作材料为永磁性纳米材料或半永磁性纳米材料。

2.如权利要求1所述的纳米机器人，其特征在于，所述永磁性纳米材料包括永磁合金、永磁铁氧体或永磁金属间化合物。

3.如权利要求1或2所述的纳米机器人，其特征在于，所述纳米机器人是通过磁控溅射工艺形成的薄膜结构。

4.如权利要求3所述的纳米机器人，其特征在于，所述纳米机器人的厚度的取值范围为10nm～20nm，包括端点值。

5.如权利要求4所述的纳米机器人，其特征在于，所述纳米机器人的形状为正六边形，所述正六边形的对角线的长度的取值范围为30nm～100nm，包括端点值。

6.一种纳米机器人的制作方法，其特征在于，包括：

在基板的第一表面形成隔离膜；

在所述隔离膜背离所述基板一侧表面形成具有预设图形的动力元件，所述动力元件的制作材料为永磁性纳米材料或半永磁性纳米材料；

溶解所述隔离膜，分离所述基板和所述动力元件，制得纳米机器人。

7.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述在所述隔离膜背离所述基板一侧表面形成具有预设图形的动力元件包括：

在所述隔离膜背离所述基板一侧表面形成纳米材料薄膜，所述纳米材料薄膜为永磁性纳米材料薄膜或半永磁性纳米材料薄膜；

在所述纳米材料薄膜背离所述隔离膜一侧形成感光胶层；

对所述感光胶层进行曝光、显影，形成具有多个预设图形的感光单元；

以所述感光单元为掩膜，对所述纳米材料薄膜进行刻蚀，形成多个具有所述预设图形的动力元件，并去除所述感光单元。

8.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述隔离膜背离所述基板一侧表面形成纳米材料薄膜包括：

采用磁控溅射工艺，在所述隔离膜背离所述基板一侧表面形成纳米材料薄膜，其中，所述纳米材料薄膜形成过程中的工艺参数包括：温度取值范围为20℃～150℃，包括端点值，氩气流量的取值范围为200Sccm～220Sccm，包括端点值，工作气压的取值范围为0.30Pa～0.5Pa，包括端点值。

9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述溶解所述隔离膜，分离所述基板和所述动力元件，制得纳米机器人，包括：

将所述基板放入温度取值范围为80℃～90℃的水中，浸泡5min～7min，溶解所述隔离膜，使所述基板和所述动力元件分离；

通过磁场装置，将有磁性的所述动力元件提取出来，制得纳米机器人。

10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述纳米机器人的厚度的取值范围为10nm～20nm，包括端点值；所述纳米机器人的形状为正六边形，所述正六边形的对角线的长度的取值范围为30nm～100nm，包括端点值。