[发明专利]扫描电镜样品的定位装置

说明书

本发明提供一种扫描电镜样品的定位装置，包括：T形台和与T形台配合插接的样品架，T形台包括平面支撑件和第一柱体，平面支撑件的上表面为多边形，第一柱体的顶端与平面支撑件底部连接，第一柱体用于支撑平面支撑件，平面支撑件的上表面用于放置样品；样品架的上表面设置有多个多边形凹槽，用于插接平面支撑件，每个凹槽中心设置有与第一柱体匹配的第一柱孔，第一柱孔用于插接T形台的第一柱体，平面支撑件被包含于凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数。本发明提供的扫描电镜样品的定位装置，可以对放置有样品的T形台进行恢复定位，以实现对同一视域重复观测。

技术领域

本发明涉及实验仪器设备技术领域，尤其涉及一种扫描电镜样品的定位装置。

背景技术

随着微观观测技术的发展，扫描电镜广泛的应用在各个领域，越来越多的需求是在一个厘米级或者毫米级的样品上进行微米-纳米级的观测，并且对于同一样品的同一视域做反复观测的需求也越来越多。

现有技术中，扫描电镜样品并非直接放置在电镜样品台之上的，而是通过T形台和样品架的协助，与电镜样品台固定在一起的。具体的，样品通过专用胶带或胶水固定到T形台表面，T形台放置在样品架上，样品架底部和电镜样品台衔接固定。

由于现有技术中的粘贴有样品的T形台从样品架上卸下，就很难再精确复原与样品架之间的角度和位置，也就无法对同一视域进行观测，进而无法进行实验，致使实验进度缓慢。

发明内容

为解决现有技术中存在的问题，本发明提供一种扫描电镜样品的定位装置，即使在放置有样品的T形台卸下样品架之后，仍可以复原与样品架之间的角度和位置，以实现对同一视域进行观测。

本发明实施例提供一种扫描电镜样品的定位装置，该装置包括：T形台和与所述T形台配合插接的样品架，其中，

所述T形台包括平面支撑件和第一柱体，所述平面支撑件的上表面为多边形，所述第一柱体的顶端与所述平面支撑件底部连接，所述第一柱体用于支撑所述平面支撑件，所述平面支撑件的上表面用于放置样品；

所述样品架的上表面设置有多个凹槽，所述凹槽为多边形，用于插接所述平面支撑件，所述多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与所述第一柱体匹配的第一柱孔，所述第一柱孔用于插接所述T形台的第一柱体，所述T形台的平面支撑件位于所述凹槽内，其中，所述平面支撑件被包含于所述凹槽中，且所述平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且所述平面支撑件的顶点数小于或等于所述凹槽的顶点数。

可选的，所述样品架上表面的凹槽所形成的多边形为正多边形。

可选的，所述T形台的平面支撑件厚度大于或等于所述凹槽的深度；

所述T形台中第一柱体的高度小于或等于所述样品架的厚度。

可选的，所述样品架的侧表面还包括多个圆孔，所述多个圆孔与第一柱孔一一对应，且所述多个圆孔与所述第一柱孔垂直设置，所述多个圆孔用于固定插接在第一孔柱中的所述第一柱体。

可选的，所述样品架上表面的凹槽周边设置有第一标记，所述第一标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的位置。

可选的，所述样品架上表面的凹槽所形成的正多边形的顶点周边设置有第二标记，所述第二标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的角度。

可选的，所述样品架上表面的多个正多边形凹槽沿直线或曲线间隔排列。

可选的，所述T形台和所述样品架为金属材质。

可选的，所述装置还包括电镜样品台，所述样品架的底面与所述电镜样品台的上表面衔接固定。

可选的，所述样品架的厚度和所述T形台的高度为厘米级，所述样品架中的第一柱孔的孔径为毫米级。