[发明专利]半导体基片贴膜的覆膜机有效

专利信息
申请号: 201910535742.7 申请日: 2019-06-20
公开(公告)号: CN110265349B 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 田硕 申请(专利权)人: 深圳市华腾半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;B26D1/06;B26D7/26
代理公司: 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 代理人: 王翀
地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 半导体 基片贴膜 覆膜机
【说明书】:

发明公开了一种半导体基片贴膜的覆膜机,包括机架11,机架11一端轴接有UV膜架12和收膜杆3;UV膜架12和收膜杆3之间通过传动带2相连;机架11两侧均安装有滑杆6,滑杆6上滑动连接有滑座13;滑座13之间安装有硅胶滚轮8和水平滑轨9;滑座13上安装有连接有用于固定侧划刀的垂直刀架10;水平滑轨9上滑动连接有用于安装水平划刀14的水平刀架7;机架11中部安装有对贴膜版4定位的钢圈5。本发明能够方便更换贴模板,适应多种材料的贴膜,同时结构简单操作方便。

技术领域

本发明属于自动化零部件范围,特别涉及一种超半导体基片贴膜的覆膜机结构。

背景技术

半导体是指在常温状体下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。近年来半导体行业发展迅猛,市场对半导体的需求呈井喷性增长。半导体基片切割作为半导体工艺的重要环节,其中切割前需要将基片贴在薄膜上,贴膜要求半导体基片与薄膜贴合紧密无气泡,同时适应全自动七切割需要保证每一盘上所贴基片的位置大致相同。但是目前还没有相关的装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体基片贴膜的覆膜机,本发明能够方便更换贴模板,适应多种材料的贴膜,同时结构简单操作方便。

为实现上述目的,本发明的技术方案如下:

一种半导体基片贴膜的覆膜机,包括机架11,机架11一端轴接有UV膜架12和收膜杆3;UV膜架12和收膜杆3之间通过传动带2相连;机架11两侧均安装有滑杆6,滑杆6上滑动连接有滑座13;滑座13之间安装有硅胶滚轮8和水平滑轨9;滑座13上安装有连接有用于固定侧划刀的垂直刀架10;水平滑轨9上滑动连接有用于安装水平划刀14的水平刀架7;机架11中部安装有对贴膜版4定位的钢圈5。

进一步的改进,所述水平刀架7上成形有供水平划刀14穿过的穿孔15,水平划刀14顶部固定有刀盖16,刀盖16底部固定有弹簧17。

进一步的改进,所述滑座13之间还安装有推杆18。

附图说明

图1为本发明的整体结构图;

图2为水平刀架的结构示意图。

具体实施方式

针对半导体基片切割的贴膜要求我们设计了一款覆膜机,能够方便更换贴模板,适应多种材料的贴膜,同时结构简单操作方便。覆膜机结构如图:UV膜1、传动带2、收膜杆3、贴膜板4、钢圈5、滑杆6、水平刀架7、硅胶滚轮8、水平滑轨9、垂直刀架10;

贴膜时首先换上对应材料的贴膜板,然后将材料基片放上贴膜板上正确位置,用手拉动UV膜使整个膜覆盖钢圈,由于收膜杆的存在,在UV膜滚轮转动时,通过皮带连接在一起的收膜杆同时转动将UV膜的下层膜收走;用手推动硅胶滚轮沿着滑杆往返运动几次,硅胶滚轮对贴膜板上的基片和UV膜具有一定的压力,保证UV膜与基片贴合充分并挤出中间的气泡保证贴合紧密;完成后,推动推杆,使得侧划刀切割贴膜板左右两侧多余的UV膜,按下水平划刀14顶部的刀盖16,然后沿水平滑轨移动,可以切割贴膜板前后两侧多余的UV膜,这样可以把钢圈以外多余的UV膜全部切掉;从贴膜板上取出钢圈和基片,贴膜完成。

具体实施方式应当比对发明内容部分进行理解,以避免不必要的误解。另外,本例所述内容只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出,对于本技术领域的技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以对本发明进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

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