[发明专利]基板抛光设备

权利要求书

1.基板抛光设备，包括：

台，具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，并且配置成支承基板；

按压单元，配置成在垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上在所述基板上施加压力；

旋转单元，连接到所述按压单元，所述旋转单元配置成使所述按压单元在平面图中观察时围绕平行于所述第三方向的中心轴绕转；

多个抛光垫，设置在所述按压单元和所述基板之间并且用于对所述基板进行抛光；以及

喷嘴部分，配置成将浆料供应到所述基板上，

其中，所述抛光垫在与所述基板的移动的方向平行的方向上彼此间隔开。

2.如权利要求1所述的基板抛光设备，其中，所述喷嘴部分设置在所述抛光垫之间。

3.如权利要求2所述的基板抛光设备，其中：

所述按压单元包括在所述第一方向上彼此间隔开的多个按压部分；以及

所述多个抛光垫分别联接到所述多个按压部分。

4.如权利要求3所述的基板抛光设备，其中，所述按压部分全部配置成在所述基板上施加相同的压力。

5.如权利要求3所述的基板抛光设备，其中，所述按压部分配置成在所述基板上施加不同的压力。

6.如权利要求3所述的基板抛光设备，其中：

所述喷嘴部分包括联接到所述旋转单元的多个喷嘴部分；以及

所述多个按压部分和所述多个喷嘴部分在所述第一方向上交替地布置。

7.如权利要求2所述的基板抛光设备，其中：

所述按压单元包括单个按压部分；以及

所述抛光垫联接到所述单个按压部分。

8.如权利要求7所述的基板抛光设备，其中，所述喷嘴部分包括多个孔，所述多个孔限定在所述按压单元中并且在所述第二方向上彼此间隔开。

9.如权利要求1所述的基板抛光设备，其中：

所述按压单元还包括设置在所述按压单元与所述抛光垫之间的膨胀部分；以及

所述膨胀部分配置成具有能够改变的厚度，由此允许所述抛光垫在所述基板上施加压力。

10.如权利要求1所述的基板抛光设备，其中，所述按压单元配置成在所述第三方向上具有能够改变的长度，由此允许所述抛光垫在所述基板上施加压力。

11.如权利要求1所述的基板抛光设备，其中，所述抛光垫中的每个在所述第一方向上的宽度小于100/n mm，其中，n是所述抛光垫的数量。

12.如权利要求11所述的基板抛光设备，其中，所述抛光垫中的每个在所述第一方向上的所述宽度小于25mm。

13.如权利要求1所述的基板抛光设备，其中，当在所述第二方向上测量时，所述抛光垫中的每个的长度大于所述基板的长度。

14.如权利要求1所述的基板抛光设备，其中，所述基板包括玻璃基板。

15.如权利要求1所述的基板抛光设备，其中，所述台配置成使所述基板在所述第一方向上移动。