[发明专利]一种陶瓷靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910536983.3 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110171974B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 沈文兴;朱刘;童培云;白平平 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/547 | 分类号： | C04B35/547 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘猛 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
1.一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
A)将铜锌锡硒粉体与氟化铷粉体进行均质混合，所述均质混合后的粉体经预压后，得到坯体；
所述铜锌锡硒粉体与氟化铷粉体的质量比为1000：3～5；
B)在真空的条件下，将所述坯体加热至200～400℃，进行保温；所述加热的速率为5～10℃/min；
C)然后加热至600～700℃，保温后在25～50MPa下进行热压烧结，降温、减压后，得到靶坯；所述加热的速率为10～20℃/min；所述降温后的温度不大于640℃；所述减压后的压力为5～15MPa；
D)对所述靶坯进行机械加工，得到陶瓷靶材。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铜锌锡硒粉体由铜锌锡硒合金球磨制得；
所述铜锌锡硒合金的纯度不小于4N；
所述铜锌锡硒粉体的粒径为30～200μm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤A)中，所述预压的压力为5～10MPa。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤B)中所述保温的时间为30～120min。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述保温的时间为20～60min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述热压烧结的时间为40～90min。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述减压后，还包括冷却；
冷却后的温度为室温。
8.权利要求1～7任意一项所述的制备方法制得的陶瓷靶材。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（广东）有限公司，未经先导薄膜材料（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910536983.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
