[发明专利]一种砷化镓多晶的制作方法及装置在审
| 申请号： | 201910537542.5 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110144623A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 向丽君;王金灵;朱凌强;周铁军;刘留;罗小龙 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英管 砷化镓 氮化硼 多晶 切割 石英帽 管口 锯片 制作 水平梯度凝固法 平移靠近 切割工序 使用寿命 所在平面 多晶料 破损率 去除 密封 破损 取出 运转 | ||
1.一种砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，该制作方法包括步骤：
步骤S1：采用水平梯度凝固法使装有砷的氮化硼舟与装有镓的氮化硼舟在密封的石英管内反应形成砷化镓多晶；
步骤S2：切割去除所述石英管的管口的石英帽，取出砷化镓多晶，具体的切割步骤为：
步骤S21：将所述石英管固定在切割台上；
步骤S22：将运转的锯片布置在与所述石英管上靠近所述石英帽的正下方的横截面共面的位置；
步骤S23：所述锯片相对所述石英管在所述横截面所在平面内做平移靠近运动，直至所述石英管被切断。
2.如权利要求1所述的砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，在所述步骤S23中，运转的所述锯片位置固定，所述切割台带动所述石英管水平移动。
3.如权利要求2所述的砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，所述切割台带动所述石英管水平移动的速度为5-10mm/min。
4.如权利要求1所述的砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，所述横截面位于所述石英帽的正下方的2-4mm处。
5.如权利要求1-4中任一项所述的砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括如下子步骤：
装料，分别将砷和镓装入不同的氮化硼舟内，并将装有砷的氮化硼舟和装有镓的氮化硼舟放入同一石英管；
密封，在完成装料的石英管的管口放入石英帽，并对石英管与石英帽的连接位置进行密封；
装炉烤料，将完成密封的石英管放入合成炉，进行真空烤料；
加热融料，对完成装炉烤料的石英管，继续升温加热，使砷蒸汽和镓高温下合成砷化镓多晶液体；
多晶合成生长，通过控制石英管内的温度曲线，使装有砷和镓的石英管从头到尾温度成梯度下降，使合成的砷化镓液体凝固成多晶棒；
冷却：待多晶合成生长结束后，冷却至常温即可获得砷化镓多晶。
6.如权利要求5所述的砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，所述密封步骤中，所述石英管与所述石英帽的连接位置通过焊接密封。
7.如权利要求6所述的砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，所述焊接方式为氢氧火焰焊接。
8.一种砷化镓多晶的制作装置，其特征在于，包括石英管(1)、切割台(2)和用于切割所述石英管(1)的管口的锯片(3)；
所述石英管(1)内放置有装有砷的氮化硼舟(4)和装有镓的氮化硼舟(5)，且所述石英管(1)的管口设置有用于密封所述石英管(1)的管口的石英帽(6)；
所述切割台(2)上设置有用于固定所述石英管(1)的固定支架(7)；
锯片(3)布置在与所述石英管(1)上靠近所述石英帽(6)的正下方的横截面共面的位置，并且所述切割台(2)能够带动所述石英管(1)相对所述锯片(3)在所述横截面所在平面内做平移靠近运动，直至所述石英管(1)被切断。
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