[发明专利]微型气动/液压驱动器及其加工方法

权利要求书

1.一种具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，包括：

基底；

薄膜，所述薄膜通过沉积方式直接形成在所述基底的表面上，且包括贴合部和非贴合部，所述贴合部与所述基底的表面粘合，且所述非贴合部与所述基底的表面形成腔体，所述非贴合部包括可伸展或压缩变形的褶皱结构，所述腔体在流体介质的压力作用下，使得所述非贴合部膨胀并根据所述褶皱结构伸展输出所需变形或位移；

在所述薄膜通过沉积方式直接形成在所述基底的表面上之前，在所述基底的表面上涂覆可移除材料以加工形成具有所需凹凸图案的模子；所述薄膜沉积于所述模子表面的部分为所述非贴合部，所述非贴合部通过复现所述模子的表面形貌来获得所需的褶皱结构，在所述薄膜沉积结束后，使用针对性溶剂或溶液对所述模子进行溶解移除。

2.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述薄膜的所述贴合部与所述基底之间设有粘附层。

3.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述基底包含多层结构，所述多层结构至少包括一个聚合物层、一个金属层和一个非金属层。

4.根据权利要求3所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述基底的每一层与其它层的图案、材料和厚度均不同。

5.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述基底为形成在已加工完成或未加工完成的结构件、器件或系统上。

6.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述非贴合部还包括与褶皱结构相连的平面结构。

7.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述非贴合部的膨胀变形过程中和过程后的变形程度、变形方向和三维形貌根据所述褶皱结构的褶皱图案和褶皱深度来确定。

8.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述非贴合部的膨胀变形量通过控制所述流体介质的参数来控制。

9.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述褶皱结构伸展后产生塑性变形，因此在撤去对褶皱薄膜所施加的压力后，薄膜可以维持一定的变形而不会完全恢复原状。

10.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述褶皱结构伸展后不产生塑性变形，因此在撤去对褶皱薄膜所施加的压力后，薄膜完全恢复被施加压力前的原状。

11.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述薄膜包含多层结构，所述薄膜的多层结构至少包括一个聚合物层、一个金属层和一个非金属层。

12.根据权利要求11所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述薄膜的每一层与其它层的图案、材料和厚度均不同。

13.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，薄膜的材料为非超弹性材料。

14.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述基底或所述薄膜的所述非贴合部设有开孔及切口。

15.根据权利要求1所述的具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器，其特征在于，所述流体介质为气体、液体、凝胶状半流体或膏状半流体。