[发明专利]一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光设备及方法

权利要求书

1.一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光设备，包括抛光盘(10)、位于抛光盘(10)上的抛光垫(9)、位于抛光垫(9)上的修整环(7)、以及用于提供抛光液的滴液系统(8)，其特征在于，还包括外部支架(1)、固定连接在所述外部支架(1)上的激振装置，所述激振装置用于驱动夹具(5)振动，所述夹具(5)用于夹持放置在修整环(7)内的被加工工件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光设备，其特征在于，所述激振装置包括超声波发生器(2)、与超声波发生器(2)的输出端相连的换能器(3)、与换能器(3)的输出端相连的变幅杆(4)，所述变幅杆(4)与所述夹具(5)连接。

3.根据权利要求1所述的一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光设备，其特征在于，所述外部支架(1)固定在修整环(7)上。

4.根据权利要求1所述的一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光设备，其特征在于，还包括用于控制所述激振装置的控制系统(11)。

5.根据权利要求2所述的一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光设备，其特征在于，所述夹具(5)具有向上凸出的凸出承受面(501)，所述变幅杆(4)正对所述凸出承受面(501)。

6.基于权利要求1至5任一所述的一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光设备的去应力研磨抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)测量被加工工件(6)的固有频率、以及加工前的应力状态；

(b)将被加工工件(6)夹持在夹具(5)中，放置在修整环(7)内，并根据加工工件(6)的固有频率设置适合的激振频率；将激振装置固定在外部支架(1)上；

(c)滴液系统(8)将抛光液从侧边以滴液的形式注入，启动抛光盘(10)进行抛光；同时启动激振装置，使被加工工件(6)在水平方向上振动。

7.根据权利要求6述的一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光方法，其特征在于，所述加工前的应力状态包括被加工工件(6)加工前的残余应力。

8.根据权利要求6述的一种弱刚性构件超声振动去应力研磨抛光方法，其特征在于，激振装置使被加工工件(6)在水平方向上进行超声高频振动。