[发明专利]去应力腐蚀机的芯片旋转装置

权利要求书

1.一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，用于处理芯片，其特征在于：包括花篮、片盒托板、水平转动轴、水平转动齿轮、芯片旋转件、电机、竖直转动轴；竖直转动轴顶端与电机连接，底端带有螺纹；所述片盒托板为带有镂空槽的板状，所述镂空槽位于片盒托板与竖直转动轴支架连接部位的两侧；所述片盒托板底部设有横向转轴槽，水平转动轴嵌套在横向转轴槽内，水平转动齿轮位于水平转动轴中部，竖直转动轴底端与水平转动齿轮啮合连接；所述花篮与片盒托板插嵌连接，所述芯片旋转件嵌套在水平转动轴上，芯片旋转件位于花篮下方。

2.根据权利要求1所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：所述芯片旋转件为凸轮结构。

3.根据权利要求2所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：所述凸轮结构为两端带有圆弧的长条形、偏心轮中的任意一种。

4.根据权利要求3所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：所述凸轮结构为长方形两端为直径和长方形宽度相同的两半圆形组合的结构。

5.根据权利要求1所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：还包括底部转轴压盖，所述底部转轴压盖固定在片盒托板底端，与横向转轴槽相对的位置。

6.根据权利要求5所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：底部转轴压盖与横向转轴槽形成圆环形空腔，底部转轴压盖与横向转轴槽为两个，分别位于片盒托板底部两端，水平转动轴两端位于底部转轴压盖与横向转轴槽形成的空腔内。

7.根据权利要求6所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：还包括固定轴瓦盖，所述固定轴瓦盖嵌套在水平转动轴两端外壁，用以保护水平转动轴两端在底部转轴压盖与横向转轴槽形成的空腔内顺滑转动运行。

8.根据权利要求1所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：还包括竖直转动轴支架，所述竖直转动轴支架为带有空腔的柱状，与片盒托板垂直，且底部与片盒托板固定连接，所述竖直转动轴支架顶端与电机连接，竖直转动轴位于竖直转动轴支架的空腔内。

9.根据权利要求1所述的去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于：所述镂空槽，为宽度大于芯片旋转件最大直径的槽。