[发明专利]一种PL检测机及检测方法在审
申请号: | 201910546071.4 | 申请日: | 2019-06-23 |
公开(公告)号: | CN110223931A | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 徐文斌;黄荣杰;刘宇昆;李宝玉 | 申请(专利权)人: | 广州蓝海智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/677 |
代理公司: | 广州慧宇中诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44433 | 代理人: | 刘各慧 |
地址: | 510032 广东省广州市花都区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 取放料装置 检测输送装置 检测 检测机 传送装置 横移装置 升降装置 上料端 下料端 输送驱动机构 安装检测 检测装置 连续检测 输送机架 输送装置 取放 上料 下料 自动化 | ||
一种PL检测机及检测方法,PL检测机包括机架、检测输送装置、自动取放料装置、传送装置、升降装置和横移装置;检测输送装置包括检测输送机架、检测输送驱动机构和检测装置;在机架的上料端和下料端分别安装了升降装置,在机架的中部安装检测输送装置,在机架的上料端设有自动取放料装置,在机架的下料端并排的设有二个以上的自动取放料装置,在上料端的自动取放料装置与检测输送装置之间设有传送装置,在检测输送装置与下料端的自动取放料装置之间设有传送装置,在下料端的自动取放料装置上方设有横移装置,检测方法为通过上述PL检测机进行自动化连续检测。本发明结构合理,取放料速度快,检测精度高,检测可靠性好。
技术领域
本发明涉及太阳能电池片的检测,具体涉及一种光伏太阳能电池片PL检测机。
背景技术
硅片的质量对太阳能电池片的电性能非常重要,或者说原硅片的质量直接决定了太阳能电池片的电性能。而且,随着硅料及硅片价格的降低,电池片加工工艺的运营成本所占比例升高,对原硅片的检测要求也越来越高。
现有的原硅片检测设备只能检测硅片外形尺寸、边缘等缺陷,而新型设备可以对电阻率、位错、隐裂、杂质、及少子寿命等进行检测,能更加精确的反应出原硅片的性能。
为解决上述技术问题,出现了一种对太阳能原硅片全自动测量的设备,在中国专利申请号为201120538654.1公告日为2012.08.29的专利文献中公开了太阳能原硅片全自动测量及分选设备,该太阳能原硅片全自动测量及分选设备包括上料台,上料台后设置双线传动带,双线传动带后设置分选台,在双线传动带部位设置对双线传动带上太阳能电池片进行检测的检测系统;所述检测系统包括厚度及电阻率检测单元、外形尺寸及翘曲度检测单元、隐裂检测单元、油污检测单元、边缘缺陷检测单元、光致发光检测单元、红外光谱检测块及线痕测量单元,且上述各检测单元依次排列,上述各检测单元与微机控制系统连接。
但是,根据该文献公开的技术方案,硅片需要通过上料台将物料主动送入到双线传送带上,而且上料台不能连续的将上料台上的硅片传送到双线传送带上,当硅片被传送到双线传送带上后,硅片的传送方向可能会发生偏位,对硅片的检测结果会产生影响,另外,上述技术方案不能对检测的硅片进行连续的下料,因此,检测的效率低。
为了解决自动上下料的问题,在中国专利申请号201610824106.2的专利文献中公开了一种硅片取料机构,包括机架、滑板和取料皮带,滑板滑设于机架上,取料皮带连接于机架和滑板之间,机架上装设有用于驱动滑板伸缩的第一驱动件以及用于驱动取料皮带运转的第二驱动件。该取料机构的取料方法包括步骤:第一驱动件驱动滑板伸入硅片盒内,取料皮带随滑板进入硅片盒内;第一驱动件停止动作,第二驱动件驱动取料皮带运转,硅片盒内的硅片依次下落至取料皮带上被输送走;硅片盒内的硅片输送完成之后,第二驱动件停止动作,第一驱动件驱动滑板回缩至初始位置,取料皮带随滑板从硅片盒内退出。一种硅片测试分选设备,包括依次布置的硅片盒、传输皮带、定位机构、测试台、分选机构及上述硅片取料机构,取料皮带位于所述硅片盒和传输皮带之间。这样虽然能实现更好的取料和放料,但是,滑板在反复运动过程中,容易产生振动,因此,硅片取料机构的工作稳定性差。
发明内容
为解决现有技术中存在的问题,本发明提供一种结构合理,取放料速度快,检测精度高,检测可靠性好的一种PL检测机及检测方法。
为达到上述目的,一种PL检测机,包括机架、检测输送装置、自动取放料装置、传送装置、升降装置和横移装置;
检测输送装置包括检测输送机架、检测输送驱动机构和检测装置,检测输送机架设在机架上,检测输送驱动机构安装在检测输送机架上,检测装置位于检测输送驱动机构的上方;
检测输送机架包括检测输送支撑板、检测输送底板和固定支板;检测输送底板安装在机架上;检测输送支撑板安装在检测输送底板上,检测输送支撑板的前后两端之间分别设有固定支板;检测输送支撑板在输送方向的中部由顶端向下具有延伸到检测输送支撑板中部的凹陷槽;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造