[发明专利]用于清洁旋涂仪的碗的夹具和包括其的设备

权利要求书

1.一种被构造为清洁旋涂仪的碗的夹具，所述夹具包括：

基体，设置在旋涂仪的旋转卡盘上，基体被构造为通过旋转卡盘进行旋转；以及

引导构件，在第一方向上从基体的边缘部分朝向碗的内盖延伸，并且被构造为将喷射到基体的下表面的下清洁剂引导到碗的内盖，其中，碗的内盖被构造为接收光致抗蚀剂并位于旋转卡盘下方。

2.根据权利要求1所述的夹具，其中，引导构件的内表面与基体的下表面之间的角为钝角。

3.根据权利要求1所述的夹具，其中，引导构件包括第一喷射孔，第一喷射孔被构造为将下清洁剂喷射到碗的在旋转卡盘的一侧的外盖。

4.根据权利要求3所述的夹具，其中，引导构件包括彼此间隔开同一距离的多个第一喷射孔。

5.根据权利要求1所述的夹具，其中，引导构件与基体一体地形成。

6.根据权利要求1所述的夹具，所述夹具还包括设置在基体下方并与基体形成下通道的下引导板，其中，下通道被构造为朝向引导构件引导下清洁剂。

7.根据权利要求6所述的夹具，其中，下引导板具有与引导构件的内表面间隔开的外表面，并且与引导构件的内表面形成下喷射槽，其中，下喷射槽被构造为朝向碗的内盖引导下清洁剂。

8.根据权利要求1所述的夹具，所述夹具还包括设置在基体上方并与基体形成上通道的上引导板，其中，上通道被构造为将喷射到基体的上表面的上清洁剂引导到碗的在旋转卡盘的一侧的外盖。

9.一种被构造为清洁旋涂仪的碗的夹具，所述夹具包括：

基体，设置在旋涂仪的旋转卡盘上，基体被构造为通过旋转卡盘进行旋转；

引导构件，在第一方向上从基体的边缘部分朝向碗的内盖延伸，并且被构造为将喷射到基体的下表面的下清洁剂引导到碗的内盖，其中，碗的内盖被构造为接收光致抗蚀剂并位于旋转卡盘下方；

下引导板，设置在基体下方并与基体形成下通道，其中，下通道被构造为朝向引导构件引导下清洁剂；以及

上引导板，设置在基体上方并与基体形成上通道，其中，上通道被构造为将喷射到基体的上表面的上清洁剂引导到碗的在旋转卡盘的一侧的外盖。

10.根据权利要求9所述的夹具，其中，引导构件的内表面与基体的下表面之间的角为钝角。

11.根据权利要求9所述的夹具，其中，引导构件包括第一喷射孔，第一喷射孔被构造为将下清洁剂喷射到碗的在旋转卡盘的一侧的外盖。

12.根据权利要求9所述的夹具，其中，引导构件与基体一体地形成。

13.根据权利要求9所述的夹具，其中，下引导板具有与引导构件的内表面间隔开的外表面并且与引导构件的内表面形成下喷射槽，其中，下喷射槽被构造为朝向碗的内盖引导下清洁剂。

14.一种被构造为清洁旋涂仪的碗的设备，所述设备包括：

夹具，包括：基体，设置在旋涂仪的旋转卡盘上，基体被构造为通过旋转卡盘进行旋转；以及引导构件，在第一方向上从基体的边缘部分朝向碗的内盖延伸，并且被构造为将喷射到基体的下表面的下清洁剂引导到碗的内盖，其中，碗的内盖被构造为接收光致抗蚀剂并位于旋转卡盘下方；

下喷嘴，设置在基体下方以朝向基体的下表面喷射下清洁剂；以及

上喷嘴，设置在基体上方以朝向基体的上表面喷射上清洁剂。

15.根据权利要求14所述的设备，其中，引导构件包括至少一个喷射孔，所述至少一个喷射孔被构造为将下清洁剂喷射到碗的在旋转卡盘的一侧的外盖。