[发明专利]一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201910548524.7 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110129742B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 田修波;孔营;巩春志;吴厚朴;田钦文 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 强韧 tisicn 硬质 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法，其特征在于该制备方法按以下步骤进行：一、清洗基体
将外表面经抛光处理后的工件，依次在丙酮、乙醇溶液中通过超声波去除工件表面的污染层，共清洗30min；工件是硅片，然后利用冷空气吹干；
二、离子增强辉光清洗
将所述基体置于真空环境中并旋转，通过离子增强辉光刻蚀溅射清洗工件；真空室抽真空至3×10-3Pa，通入氩气；调节真空室气压为1Pa，将一悬浮金属板放置于阴极弧源前；在阴极弧源和阳极间加载25V、100A的直流电，开启电源，并关闭金属挡板，在真空室和基体之间施加200v偏压，利用Ar等离子体对基体进行离子清洗，清洗时间为30-60min；
三、沉积TiSiCN涂层
工件清洗结束后，向真空室内通入氮气和四甲基硅烷的混合气体，利用辅助阳极增强阴极弧技术沉积TiSiCN涂层，即完成制备：TiSiCN涂层按原子比计算为Ti49.97％，N41.27％，C6.29％，Si2.47％；
其中辅助阳极增强阴极弧技术的工艺参数为：四甲基硅烷的气流量为12sccm；氮气的气流量为300sccm；弧流为100A、时间2.5h；辅助阳极电流30A；沉积气压为1Pa；基体温度为350℃。
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