[发明专利]一种基于能量色散X射线衍射的检测装置

权利要求书

1.一种基于能量色散X射线衍射的检测装置，其特征在于，该装置包括X射线发射模块、位移机构(12)、衍射检测模块及控制器(7)，所述的控制器(7)分别与X射线发射模块、位移机构(12)及衍射检测模块电连接；

所述的X射线发射模块发射出入射光束(2)，穿过设置于位移机构(12)上的待测物(8)不同厚度处，产生多个衍射光束(3)，所述的衍射检测模块包括多个衍射检测单元(6)，每个衍射检测单元(6)设置于相应的衍射光束(3)的光路上；

以入射光束(2)所在直线为主光轴，多个衍射检测单元(6)绕主光轴由内至外呈螺旋分布；

多个衍射检测单元(6)绕主光轴均匀布设，任意的相邻两个衍射检测单元(6)与主光轴连线的夹角相等；

所述的衍射检测单元(6)包括能谱探测器(5)及索拉狭缝(4)，所述的衍射光束(3)经索拉狭缝(4)准直后进入能谱探测器(5)。

2.根据权利要求1所述的一种基于能量色散X射线衍射的检测装置，其特征在于，所述的衍射光束(3)与主光轴的夹角为θ，所述的能谱探测器(5)内设有宽度为D的晶体，每个衍射检测单元(6)在主光轴方向的检测范围为h＝D/sinθ，沿螺旋方向相邻的两个衍射检测单元(6)在主光轴方向上的检测范围的中心距离为h，并且沿螺旋方向相邻的两个衍射检测单元(6)与主光轴的垂直距离差为D/cosθ。

3.根据权利要求2所述的一种基于能量色散X射线衍射的检测装置，其特征在于，所述的衍射检测模块还包括螺旋底座(13)，所述的螺旋底座(13)呈不规则棱柱形，所述的衍射检测单元(6)设置于螺旋底座(13)上。

4.根据权利要求3所述的一种基于能量色散X射线衍射的检测装置，其特征在于，所述的螺旋底座(13)的侧面设有连接件(14)，所述的衍射检测单元(6)通过连接件(14)固定于螺旋底座(13)上。

5.根据权利要求4所述的一种基于能量色散X射线衍射的检测装置，其特征在于，所述的连接件(14)包括固定于螺旋底座(13)侧面的连接板以及与连接板的下端固定连接的固定板，所述的连接座与固定板之间的夹角为θ，所述的衍射检测单元(6)设置于固定板上。

6.根据权利要求1所述的一种基于能量色散X射线衍射的检测装置，其特征在于，所述的X射线发射模块包括X射线光源(1)及设置于X射线光源(1)与位移机构(12)之间的入射准直器(11)。

7.根据权利要求1所述的一种基于能量色散X射线衍射的检测装置，其特征在于，所述的位移机构(12)包括横移平台、设置于横移平台上的纵移平台及设置于纵移平台上的升降平台。