[发明专利]树脂组合物、干膜及干膜、抗蚀剂膜、基板、镀敷造形物制造方法和含氮芳香族杂环化合物

权利要求书

1.一种化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有：产酸剂(A)，通过活性光线或放射线的照射而产生酸；树脂(B)，对碱的溶解性因酸的作用而增大；和含氮芳香族杂环化合物(C)，

所述含氮芳香族杂环化合物(C)是下述式(c-a)或式(c-b)所示的化合物：

【化1】

式(c-a)中，Sub是取代基，A^c1是可具有所述Sub以外的取代基的单环式或者稠合多环式含氮芳香族杂环，2个Sub可以相同也可以不同；

式(c-b)中，Sub是取代基，A^c2是可具有所述Sub以外的取代基的单环式或者稠合多环式含氮芳香族杂环，R^c0是氢原子或者有机基团，2个Sub可以相同也可以不同，

所述含氮芳香族杂环化合物(C)的溶解度S的常用对数值LogS为-6.00以下。

2.如权利要求1所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述含氮芳香族杂环化合物(C)是下述式(c1)所示的化合物，

(Y¹-A¹)_k-R¹ (c1)，

式(c1)中，Y¹是下述式(c-a-1)或式(c-b-1)所示的基团，

【化2】

A¹是单键、或从-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-OCOO-、-NH-、-CONH-、-NHCO-、-NHCONH-、-S-、-SO-及-SO₂-中选择的2价基团，

R¹为氢原子或k价有机基团，

k为1或2，k为2的情况下，2个Y¹-A¹-可以相同也可以不同，在R¹为氢原子的情况下，k为1，

在式(c-a-1)中，Sub为取代基，A^c1为可具有所述Sub以外的取代基的单环式或稠合多环式的含氮芳香族杂环，2个Sub可以相同也可以不同，

在式(c-b-1)中，Sub为取代基，A^c2为可具有所述Sub以外的取代基的单环式或稠合多环式的含氮芳香族杂环，R^c0为氢原子或者有机基团，2个Sub可以相同也可以不同。

3.如权利要求2所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述Y¹为所述式(c-a-1)所示的基团，所述A^c1为吡啶环。

4.如权利要求2所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述k为2。

5.如权利要求4所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述R¹为碳原子数1以上10以下的可以为直链也可以为支链的亚烷基、亚环烷基或亚芳基，或者将所述亚烷基、亚环烷基、亚芳基组合而得的2价的基团。

6.如权利要求1所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述Sub为烃基。

7.如权利要求1～6的任一项所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，对所述化学放大型正型感光性树脂组合物的涂膜以130℃加热5分钟后，在23℃下间歇地进行2次将其与2.38质量％四甲基氢氧化铵的水溶液接触30秒钟的操作后，用纯水进行漂洗时的膜减少速度为0.1μm/min以上0.5μm/min以下。

8.如权利要求1所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，还含有碱可溶性树脂(D)。

9.如权利要求8所述的化学放大型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂(D)包含选自酚醛清漆树脂(D1)、聚羟基苯乙烯树脂(D2)及丙烯酸树脂(D3)中的至少1种树脂。