[发明专利]纳米粉末合金制备方法以及装置在审
申请号: | 201910550614.X | 申请日: | 2019-06-24 |
公开(公告)号: | CN110253027A | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 刘庆京;潘利鑫;艾庆康 | 申请(专利权)人: | 北京莱泽光电技术有限公司 |
主分类号: | B22F9/04 | 分类号: | B22F9/04;B82Y30/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 101300 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米颗粒 合金材料 真空腔 等离子体 等离子状态 激光 固态转变 合金制备 纳米粉末 室内 合金材料表面 多光子吸收 皮秒激光器 激光线性 能量转移 热传导 晶格 熔融 扩散 激发 焦点 吸收 | ||
1.一种纳米粉末合金制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将合金材料置于真空腔室内;
采用皮秒激光器照射所述真空腔室内的所述合金材料;
控制所述皮秒激光器发出的皮秒激光的焦点位于所述合金材料上,所述合金材料直接由固态转变为等离子状态,且生成的等离子体为纳米颗粒;
收集所述真空腔室内的纳米颗粒。
2.如权利要求1所述的纳米粉末合金制备方法,其特征在于:所述皮秒激光器的平均功率不小于50w,且脉冲宽度不大于15皮秒。
3.如权利要求1所述的纳米粉末合金制备方法,其特征在于:所述皮秒激光器发出的皮秒激光经扫描振镜后通过长焦聚焦镜将光斑聚焦于所述合金材料的表面,且所述扫描振镜通过控制板卡控制移动。
4.一种纳米粉末合金制备装置,包括座体,其特征在于:还包括真空腔室以及皮秒激光器,所述皮秒激光器安设于所述座体上,所述真空腔室内设置有可存放合金材料的样品台,所述皮秒激光器发出的皮秒激光依次经过扩束镜、扫描振镜、物镜以及聚焦镜聚焦于所述样品台的合金材料表面,且整个皮秒激光的光路均处于密封状态。
5.如权利要求4所述的纳米粉末合金制备装置,其特征在于:所述聚焦镜为长焦聚焦镜。
6.如权利要求4所述的纳米粉末合金制备装置,其特征在于:还包括用于调节聚焦镜的焦点位于合金材料表面的调节机构。
7.如权利要求4所述的纳米粉末合金制备装置,其特征在于:所述真空腔室设置有观察窗,所述皮秒激光器发出的皮秒激光透射所述观察窗聚焦于合金材料表面。
8.如权利要求4所述的纳米粉末合金制备装置,其特征在于:还包括爬高器,所述扫描振镜与所述物镜均安设于所述爬高器上。
9.如权利要求8所述的纳米粉末合金制备装置,其特征在于:于所述爬高器上还设置有十字运动平台,所述扫描振镜与所述物镜均安设于所述十字运动平台上。
10.如权利要求4所述的纳米粉末合金制备装置,其特征在于:所述座体包括钢架以及水平安设于所述钢架上的大理石安装面板,所述皮秒激光器安设于所述大理石安装面板上。
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