[发明专利]一种面向第三代半导体材料的加工装置

权利要求书

1.一种面向第三代半导体材料的加工装置，包括加工台(11)，其特征在于，所述加工台(11)内设有腐蚀室(2)、清洗室(29)以及烘干室(1)，所述加工台(11)的底部内设有安装腔，所述安装腔内设有转动机构，所述加工台(11)上设有与转动机构连接的转盘(7)，所述转盘(7)的部分延伸至腐蚀室(2)、清洗室(29)以及烘干室(1)内，所述转盘(7)的上端周向等间距设有多个放置槽(26)，其中三个所述放置槽(26)分别位于腐蚀室(2)、清洗室(29)以及烘干室(1)内，所述腐蚀室(2)的内顶部安装有腐蚀机构，所述清洗室(29)的内顶部安装有清洗机构，所述烘干室(1)的内顶部安装有烘干机构，多个所述放置槽(26)的下方设有装置腔(19)，所述装置腔(19)内设有升降机构，所述放置槽(26)内设有与升降机构连接的放置板(25)，所述放置板(25)的外壁设有与放置槽(26)内壁接触的密封圈，所述转盘(7)的侧壁设有与放置槽(26)连通的排液口(24)，所述转盘(7)的上端设有安装槽(16)，所述安装槽(16)内设有与升降机构配合的驱动机构，所述腐蚀室(2)、清洗室(29)以及烘干室(1)的内底部均设有排液管，所述排液管内安装有阀门；所述腐蚀机构包括固定在加工台(11)底部侧壁上的储液罐(3)，所述加工台(11)的上端安装有液泵(6)，所述液泵(6)的输入端连接有吸液管，所述吸液管延伸至储液罐(3)内，所述液泵(6)的输出端连接有出液管(5)，所述出液管(5)的下端延伸至腐蚀室(2)内；所述清洗机构包括固定在加工台(11)底部侧壁上的储水箱(27)，所述加工台(11)的上端安装有水泵(4)，所述水泵(4)的输入端连接有吸水管，所述吸水管延伸至储水箱(27)内，所述水泵(4)的输出端连接有出水管，所述出水管的下端延伸至清洗室(29)内并安装有花洒(28)；所述烘干机构包括安装在加工台(11)上端的热风机(30)，所述热风机(30)的出风端连接有出风管，所述出风管的末端延伸至烘干室(1)内并安装有出风罩(31)；所述转动机构包括安装在加工台(11)上端的第一驱动电机(9)，所述第一驱动电机(9)的输出轴末端延伸至安装腔内并固定连接有第一齿轮(10)，所述安装腔内转动连接有转杆(8)，所述转杆(8)的外侧壁固定连接有第二齿轮(12)，所述第一齿轮(10)与第二齿轮(12)相互啮合，所述转杆(8)的上端贯穿安装腔的内顶部并与转盘(7)的底部固定连接；所述升降机构包括竖直转动连接在装置腔(19)内的螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)上螺纹连接有滑块(22)，所述滑块(22)的上端固定连接有两个抵杆(23)，两根所述抵杆(23)的上端延伸至放置槽(26)内并与放置板(25)的底部固定连接，所述滑块(22)的侧壁与装置腔(19)的内壁滑动连接，所述安装槽(16)与装置腔(19)的内壁间贯穿设有转轴，所述转轴位于装置腔(19)内的一端固定连接有第一锥齿轮(21)，所述螺纹杆(18)的底部侧壁固定连接有第二锥齿轮(20)，所述第一锥齿轮(21)与第二锥齿轮(20)相互啮合，所述转轴位于安装槽(16)内的一端固定连接有第三齿轮(17)；所述驱动机构包括安装在安装槽(16)内壁上的环形电动滑轨(15)，所述环形电动滑轨(15)的侧壁滑动连接有第二驱动电机(13)，所述第二驱动电机(13)的输出轴固定有与第三齿轮(17)相配合的第四齿轮(14)。