[发明专利]一种系统及优先级排序方法

说明书

本发明涉及一种系统及优先级排序方法。所述系统包括：具有设置功能和显示功能的操作屏、EAP系统及控制器；其中所述设置功能适于设置排序的优先级信息项；所述显示功能适于显示所述控制器的输出。本发明能够更好的控制排货的顺序，减少人工的误排货，从而保证交货工期和产品指标。

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别涉及一种系统及优先级排序方法。

背景技术

在集成电路的生产制造中，每一个晶圆从原料最终形成产品都需要经过成百乃至上千道工序，晶圆所经过的所有工序组成了工艺流程。在正常情况下，晶片按照预先设定好的工艺流程，一步一步地在对应工艺的设备上执行每一道工序，也就是说，预先设定好了工艺流程中每一道工序的内容，每一道工序的内容还包括具体的工艺参数，工艺流程驱动引擎根据预先设定好的工艺流程，控制晶片依次执行每一道工序。

随着半导体技术的发展，半导体企业都会利用软件控制系统来达到使半导体生产设备生产能力最大化的目的。这一系列控制系统的核心即为制造执行系统（ManufacturingExecution System，MES）和其中的EAP系统（Equipment Automation Programming，EAP）。

制造执行系统（MES）至少具有以下功能和特征：

1、采用强大数据采集引擎、整合数据采集渠道覆盖整个工厂制造现场,保证现场数据的实时、准确、全面的采集；

2、设备处理完产品的上一道工序时，MES实时记录产品在当前站点的产品信息；设备处理完产品的当期站点的工序，MES实时记录产品下一站点的产品信息；

3、MES是按信息项（至少包含信息项：产品名称、产品代号、站点代号、等级代号、等待时间、产品当前状态等）排列和对应的产品信息来对所有产品进行实时、全面、准确的监视。

EAP系统至少具有以下功能和特征：

1、与MES系统整合，自动校验产品生产信息，自动做账。

2、EAP系统封装了和设备之间的通讯，预先支持多种通讯协议，具备良好的扩展性。

在半导体的制造工艺流程中，产品分为两种：正在处理（人工或设备处理）的产品和等待处理的产品（待处理产品）。排货是指对待处理产品预先安排处理次序。而决定待处理产品优先级的信息项很多，包含产品名称、产品代号、站点代号、等级代号、等待时间等等。正常情况下，第一优先级（即优先级高）的待处理产品需要最先处理，紧接着是第二优先级（即优先级次高）的需要处理，最后处理第三优先级（即优先级低）的待处理产品。否则，就会影响产品的交货工期，或造成产品其它指标不合格，造成损失。

现有的做法是，操作员登录MES系统或者报表，根据信息项人工查看产品信息，按照上级指令的优先级信息项依次对待处理产品进行人工排序，再根据排序结果来安排处理顺序。但是这种人工排货耗费的时间长，增加了误操作的概率，容易错过需要优先处理的产品，降低了准确性和效率，影响产品交货工期和产品指标。

发明内容

本发明技术方案的目的是为了解决上述技术问题而设计的一种系统及优先级排序方法。

为了实现以上目的，本发明技术方案提供了一种系统，适于获取产品信息，对待处理产品进行排序，输出排序结果到操作屏，该系统包括：具有设置功能和显示功能的操作屏、EAP系统及控制器；其中所述设置功能适于设置排序的优先级信息项；所述显示功能适于显示所述控制器的输出。

可选的，在所述操作屏的设置的优先级信息项经确认后，所述控制器适于清除存储于所述控制器中的上一设置值，写入所述操作屏的当前设置值于所述控制器中存储。

可选的，在MES系统刷新数据时，所述EAP系统适于从所述控制器中清除存储的上一产品信息，将MES系统中记录的当前的所有产品信息写入所述控制器中存储。