[发明专利]偏转反射镜装置

权利要求书

1.一种偏转反射镜装置，其特征在于，包括反射镜、镜座、基板、第一弹性元件、第二弹性元件、第一磁性件、第二磁性元件、补偿板、基座及位移传感器；所述反射镜固定于所述镜座内，所述镜座安装于所述基板的一侧，所述第一弹性件及所述第一磁性元件安装于所述基板与镜座相背的一侧上；且所述基板与镜座相背的一侧通过第一弹性元件安装于所述基座的一端，所述补偿板通过第二弹性件安装于所述基座与第一弹性件相背的一端，所述第二磁性元件安装于所述基板与第二弹性件的同一侧上，所述第二磁性件与第一磁性件之间能够产生磁场且相互滑动配合；所述位移传感器安装于所述基座上以检测所述基板的位移。

2.根据权利要求1所述的偏转反射镜装置，其特征在于，所述基座包括顶面及与顶面相背的底面，所述基座开设有靠近顶面的顶部收容槽及靠近底面的底部收容槽，所述顶部收容槽及所述底部收容槽之间形成安装板；所述安装板包括位于顶部收容槽底面的上安装面及位于底部收容槽底面的下安装面；所述基板及镜座收容于所述顶部收容槽内且所述基板与镜座相背的一侧通过第一弹性元件安装于所述上安装面，所述补偿板收容于所述底部收容槽内且通过第二弹性件安装于所述下安装面。

3.根据权利要求2所述的偏转反射镜装置，其特征在于，所述第一磁性件为磁钢且包括中空圆柱状的外套筒及位于所述外套筒内与所述外套筒间隔设置的导向部，所述导向部为直径小于外套筒内径的且与外套筒同轴设置的圆柱形；所述第二磁性件为中空圆柱状的线圈，所述第二磁性件的外径小于所述外套筒的内径且内径大于所述导向部的直径；所述安装板开设有对应于外套筒及第二磁性件的导向孔；所述外套筒远离基板的一端伸入导向孔内，所述第二磁性件远离补偿板的一端伸入导向孔内且套于所述导向部外并收容于外套筒内。

4.根据权利要求3所述的偏转反射镜装置，其特征在于，所述基板为正方形板状且四个角落导圆角设置；所述第一磁性元件包括相同的且分别安装于基板的四个角落的第一磁钢、第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢；所述导向孔及所述第二磁性件的数量均为四个；所述补偿板为正方形板状且四个角落导圆角设置，四个第二磁性件安装于所述补偿板的四个角落。

5.根据权利要求2所述的偏转反射镜装置，其特征在于，所述安装板还开设有组装孔，所述补偿板的侧边开设有配合槽；所述位移传感器为杆状且安装于所述组装孔内，所述位移传感器的两端伸出所述组装孔，且一端与所述基板设置有第一弹性件的一侧间隔设置，另一端位于补偿板的配合槽内。

6.根据权利要求5所述的偏转反射镜装置，其特征在于，所述位移传感器的数量为四个，所述组装孔及配合槽的数量均为四个；所述基板设置有第一弹性件的一侧设置有与位移传感器一一间隔对应的圆形的平面区。

7.根据权利要求2所述的偏转反射镜装置，其特征在于，所述第一弹性元件及第二弹性件的结构相同，均为两轴转动柔性铰链且包括上环、中环及下环，所述中环连接于上环及下环之间且开设有一对上切口及一对下切口，且每个上切口位于一对下切口之间；所述一对上切口连接所述上环与所述中环，所述一对下切口连接所述中环与所述下环；所述上环相对于中环能够绕第一轴向转动，所述中环相对于所述下环能够绕第二轴向轴转动；所述上环、所述中环及所述下环的中心轴重合于第三轴向，所述第一轴向、第二轴向、及第三轴向在空间两两垂直相交；所述第一弹性元件的下环固定件安装于所述安装板的上安装面，上环安装于所述基板；所述第二弹性元件的下环安装于所述安装板的下安装面，上环安装于所述补偿板。

8.根据权利要求2所述的偏转反射镜装置，其特征在于，所述偏转反射镜装置还包括弹性的压圈，所述镜座包括中空圆筒状的收容部及自收容部一端边缘向远离收容部中心轴方向延伸形成的平板状支撑部，所述收容部内与所述支撑部相背的一侧开设有环形的压紧槽，所述反射镜收容于所述收容部内，所述压圈容于收容部靠近支撑部的位置并收容于所述压紧槽内并分别与反射镜及收容部抵压；所述支撑部安装于所述基板与所述第一弹性件相背的一侧。