[发明专利]一种光子计数成像探测器有效
申请号: | 201910551877.2 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN110361100B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 何玲平;陈波;张宏吉;刘世界 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J11/00 | 分类号: | G01J11/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 吴乃壮 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光子 计数 成像 探测器 | ||
1.一种光子计数成像探测器,其特征在于,包括多个层叠设置的微通道板、位于所述微通道板下方的位置编码阳极,所述位置编码阳极包括位置编码阳极电子团接收层、位置编码阳极电荷感应层及位置编码阳极电容传导层,所述位置编码阳极电子团接收层和所述位置编码阳极电荷感应层之间及所述位置编码阳极电荷感应层和所述位置编码阳极电容传导层之间均设置有绝缘介质,所述微通道板、所述位置编码阳极电子团接收层、所述位置编码阳极电荷感应层及所述位置编码阳极电容传导层均设置于小型真空封装室中,所述小型真空封装室的前端开设有真空窗口,所述位置编码阳极电荷感应层为金属方片阵列设置,所述金属方片阵列与所述位置编码阳极电子团接收层形成平板电容,所述位置编码阳极电容传导层为金属方片阵列设置,所述位置编码阳极电荷感应层与所述位置编码阳极电子团接收层之间距离可调,所述位置编码阳极电荷感应层的金属方片阵列与所述位置编码阳极电容传导层为金属方片阵列错位重叠以形成等量互电容。
2.如权利要求1所述的光子计数成像探测器,其特征在于,所述位置编码阳极电荷感应层中的金属方片阵列每一个方块单元与其周围的八个方块单元之间都存在一个等量的互电容,以使所述位置编码阳极电荷感应层与所述位置编码阳极电容传导层形成一个由独立电容单元并联而成的电容阵列。
3.如权利要求2所述的光子计数成像探测器,其特征在于,所述电容阵列中,所述位置编码阳极电容传导层的四个读出电极间的电容和读出电极与所述位置编码阳极电荷感应层中每个方块单元的距离成线性关系。
4.如权利要求3所述的光子计数成像探测器,其特征在于,所述位置编码阳极电荷感应层中每个方块单元与所述读出电极之间的电容在0.1pF到5pF的范围。
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