[发明专利]一种智能存放晶圆的系统、装置及方法

权利要求书

1.一种智能存放晶圆的系统，其特征在于，包括：录入单元、判定单元、操作单元、晶圆存放格、不锈钢柜体、机械手臂轨道和可旋转机械手臂；

所述录入单元用于：录入外延片相关参数，所述外延片相关参数包括：外延片类型和/或外延片颗粒数；

所述判定单元用于：根据外延片相关参数及预设规则判定外延片等级；

所述操作单元用于：控制外延片的搭载/卸载；

所述晶圆存放格设置于所述不锈钢柜体内，所述晶圆存放格用于：存放外延片；

所述可旋转机械手臂设置于机械手臂轨道上，所述可旋转机械手臂用于：搬运外延片。

2.根据权利要求1所述的一种智能存放晶圆的系统，其特征在于，还包括：Load/Unload单元；

所述Load/Unload单元用于：放置产线搬运的晶圆匣盒，所述Load/Unload单元还用于：搭载/卸载所述晶圆匣盒上的外延片。

3.根据权利要求1所述的一种智能存放晶圆的系统，其特征在于，还包括：氮气供气系统；

所述氮气供气系统设置于所述不锈钢柜体外，所述氮气供气系统用于：置换所述不锈钢柜体内水汽和氧气到不锈钢柜体外。

4.根据权利要求1所述的一种智能存放晶圆的系统，其特征在于，

所述判定单元还用于：根据外延片的表面颗粒数判定外延片等级；

外延片的表面颗粒数不大于100的判定为级别A；

外延片的表面颗粒数介于101-200之间的判定为级别B；

外延片的表面颗粒数介于201-入料检可允收颗粒数之间的判定为级别C。

5.根据权利要求1所述的一种智能存放晶圆的系统，其特征在于，

所述晶圆存放格包括：晶圆存放托盘和传感器；

所述晶圆存放托盘用于：存放晶圆；

所述传感器用于：感应对应存放托盘是否有晶圆存放。

6.一种智能存放晶圆的装置，其特征在于，包括：晶圆存放格、不锈钢柜体、机械手臂轨道和可旋转机械手臂；

所述晶圆存放格设置于所述不锈钢柜体内，所述晶圆存放格用于：存放外延片；

所述可旋转机械手臂设置于机械手臂轨道上，所述可旋转机械手臂用于：搬运外延片。

7.根据权利要求6所述的一种智能存放晶圆的装置，其特征在于，还包括：Load/Unload单元；

所述Load/Unload单元用于：放置产线搬运的晶圆匣盒，所述Load/Unload单元还用于：搭载/卸载所述晶圆匣盒上的外延片。

8.根据权利要求6所述的一种智能存放晶圆的装置，其特征在于，还包括：氮气供气系统；

所述氮气供气系统设置于所述不锈钢柜体外，所述氮气供气系统用于：置换所述不锈钢柜体内水汽和氧气到不锈钢柜体外。

9.根据权利要求6所述的一种智能存放晶圆的装置，其特征在于，

所述晶圆存放格包括：晶圆存放托盘和传感器；

所述晶圆存放托盘用于：存放晶圆；

所述传感器用于：感应对应存放托盘是否有晶圆存放。

10.一种智能存放晶圆的方法，其特征在于，包括步骤：

获取外延片相关参数，所述外延片相关参数包括：外延片类型和/或外延片颗粒数；

根据外延片相关参数及预设规则判定外延片等级；

接收并执行外延片的搭载/卸载指令。