[发明专利]一种纳米压印模具、纳米压印装置和纳米压印方法

权利要求书

1.一种纳米压印模具，其特征在于，包括：纳米压印模板，与所述纳米压印模板紧密连接的密封腔体；

所述纳米压印模板用于对压印胶进行压印，且具有透气性，使得在压印过程中，该纳米压印模板的模具腔内的空气扩散进入所述密封腔体；

所述密封腔体的侧壁设置抽真空孔，使得进入到该密封腔体内的空气通过所述抽真空孔排出；

所述纳米压印模板包括：透气底板和与所述透气底板紧密连接的透气膜层；所述透气底板远离所述透气膜层的一侧设置有模具腔；所述透气膜层与所述密封腔体紧密连接；

所述密封腔体设置在所述透气膜层远离所述透气底板的一侧，或者，所述密封腔体设置在所述透气膜层的四周；

所述纳米压印模板还包括密封层，其中：

当所述密封腔体设置在所述透气膜层远离所述透气底板的一侧时，所述密封层设置在所述透气膜层的四周；

当所述密封腔体设置在所述透气膜层的四周时，所述密封层设置在所述透气膜层远离所述透气底板的一侧。

2.如权利要求1所述的纳米压印模具，其特征在于，所述密封腔体的内侧壁具有排气微通道，所述排气微通道与所述抽真空孔连接，用于提供空气的流动通道。

3.如权利要求1所述的纳米压印模具，其特征在于，所述透气底板为柔性底板，材料包括硅酮、聚二甲基硅氧烷、聚丙烯酸、聚丙烯酯类、聚氨酯类、水凝胶中一种或组合物。

4.如权利要求1所述的纳米压印模具，其特征在于，所述模具腔的高深宽比的范围在1：4至1：10之间。

5.如权利要求1所述的纳米压印模具，其特征在于，所述密封腔体的材料包括不锈钢、铜、铝合金、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯中的一种或组合物。

6.一种纳米压印装置，其特征在于，包括：如权利要求1-5任一项所述的纳米压印模具；以及

压印腔室；

涂覆机构，用于向位于所述压印腔室内的基板的待制作膜层上涂覆压印胶；

压印机构，用于将所述纳米压印模具压印在所述压印胶上，以及将所述纳米压印模具从所述压印胶上脱模。

7.一种采用权利要求1-5任一项所述的纳米压印模具进行纳米压印的方法，其特征在于，包括：

在基板的待制作膜层上涂覆压印胶；

将纳米压印模板设置有模具腔的一侧压印在所述压印胶上，所述模具腔内的空气扩散进入密封腔体，并通过设置在所述密封腔体的侧壁上的抽真空孔排出；

固化所述压印胶，并将所述纳米压印模板从所述压印胶上脱模。