[发明专利]提高直拉单晶拉速的装置有效
申请号: | 201910556405.6 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN110106547B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 丁亚国;梁万亮;马国忠;顾燕滨;河野贵之 | 申请(专利权)人: | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提高 直拉单晶拉速 装置 | ||
本发明公开了一种提高直拉单晶拉速的装置,属于单晶硅生产设备技术领域。包括导流筒及撤热组件,所述撤热组件安装于所述导流筒的上方,通过热辐射或者热传导的方式对所述导流筒进行降温。本发明技术方案实现在所述撤热组件远离单晶炉的热场的状态下,与固液界面发生热量交换,降低固液界面处温度,从而提高直拉单晶的拉速,提高直拉单晶拉速则大幅度节约的电耗。同时,由于所述撤热组件距离单晶炉热场较远,一则所述撤热组件受到热场的热应力有限,降低所述撤热组件泄漏概率,二则一旦泄漏发生,能够及时通过单晶炉内的氛围变化判断发现,及时停炉,降低事故率。
技术领域
本发明属于单晶硅生产设备技术领域,具体涉及一种提高直拉单晶拉速的装置。
背景技术
现阶段直拉单晶领域,降低成本成为首要任务,尤其在光伏行业尤为突出,在拉晶过程中由于加热器持续加热,电耗较高,如何通过加快拉晶的速度,减少等径时间成重要因素。一有效的提高直拉单晶拉速的方法为降低固液界面温度。
现有技术中,提供的一种提高直拉单晶拉速的装置,通过在导流筒的内壁和外壁之间加设冷水套实现提高单晶生长速率。该装置虽然在一定程度上提高了直拉单晶拉速,但是,其改变了导流筒内部结构,且冷水套设置在距离热场较近的位置,增加了热场的能量供应,导致能耗上升。其次,冷水套如果泄漏,泄漏的水直接流入导流筒的碳毡层内,导致导流筒的热量梯度破坏,造成拉晶事故率上升。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种低能耗水平、低事故率的提高直拉单晶拉速的装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种提高直拉单晶拉速的装置,包括导流筒及撤热组件,所述撤热组件安装于所述导流筒的上方,通过热辐射或者热传导的方式对所述导流筒进行降温。
优选地,所述撤热组件的下端面与所述导流筒的上端面接触。
优选地,所述撤热组件具有冷介质循环腔,且开设有冷介质入口及冷介质出口,所述冷介质入口及所述冷介质出口连通所述冷介质循环腔。
优选地,所述冷介质循环腔内远离所述冷介质入口的一侧设置有合流挡板,所述冷介质出口开设于所述合流挡板的两侧。
优选地,所述导流筒包括外壳、内胆及填充于所述外壳和所述内胆之间的隔热层;所述内胆的底端与所述外壳的底端平齐,所述内胆的上端向外弯折,形成热交换部,所述热交换部与所述撤热组件的下端面接触。
优选地,所述撤热组件的上端面上设置有连接环,所述连接环的上端连接单晶炉的炉壁。
优选地,所述连接环上设置有冷介质入口管及冷介质出口管,所述冷介质入口管连通所述冷介质入口,所述冷介质出口管连通所述冷介质出口。
优选地,所述冷介质入口管上设置有进料流量调节阀,所述冷介质出口管上设置有出料温度调节阀,所述出料温度调节阀与所述进料流量调节阀串级控制连接。
优选地,所述撤热组件还具有泄漏预警腔,所述泄漏预警腔设置于所述冷介质循环腔下方,且位于所述撤热组件的外侧,所述泄漏预警腔与所述冷介质循环腔相互隔离;所述泄漏预警腔内呈负压状态,且所述撤热组件上设置有用于检测所述泄漏预警腔内压力状况的真空表。
由上述技术方案可知,本发明提供了一种提高直拉单晶拉速的装置,其有益效果是:设置所述导流筒及所述撤热组件,并将所述撤热组件安装于所述导流筒的上方,通过与所述导流筒的热传导或者热辐射作用,实现在所述撤热组件远离单晶炉的热场的状态下,与固液界面发生热量交换,降低固液界面处温度,从而提高直拉单晶的拉速。由于所述撤热组件距离单晶炉热场较远,对热场能量供应影响微小,而提高直拉单晶拉速则大幅度节约的电耗。同时,由于所述撤热组件距离单晶炉热场较远,一则所述撤热组件受到热场的热应力有限,降低所述撤热组件泄漏概率,二则一旦泄漏发生,能够及时通过单晶炉内的氛围变化判断发现,及时停炉,降低事故率。
附图说明
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