[发明专利]基于声子晶体的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201910557023.5 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110417371B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 谢英;孙成亮;蔡耀;王雅馨;刘炎;高超 | 申请（专利权）人： | 宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 艾小倩 |
| 地址： | 315832 浙江省宁波市北仑*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 晶体 薄膜 声波 谐振器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于声子晶体的薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括衬底(110)、依次沉积在衬底(110)正面上的声子晶体层(140)和压电振荡堆结构(180)；所述压电振荡堆结构(180)包括底电极(150)、压电材料薄膜层(160)及顶电极(170)的三明治结构；
所述声子晶体层(140)包括多层交替沉积且周期排列的的声子晶体，所述多层交替沉积呈现为相邻两层声子晶体错开排布；所述每层声子晶体包括交替周期排列的散射体(130)和基体(120)；所述散射体(130)和基体(120)的材料不同，且材料的物理属性相差较大；
所述衬底(110)适用于薄膜体声波谐振器，为高阻硅、蓝宝石衬底或SOI衬底中任一种；
所述声子晶体层(140)中包含的散射体形状为柱体；
所述柱体为正六边形柱体；
所述底电极(150)和顶电极(170)均为金属薄膜；所述压电材料薄膜层(160)为具有压电效应的薄膜材料；
所述金属薄膜为钼、铂、金、银或铬中的任意一种；所述具有压电效应的薄膜材料为氮化铝、氧化锌、铌酸锂、PZT或铌酸钡钠中的任意一种。
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