[发明专利]一种人造视网膜神经柔性微电极装置及其制作方法在审

申请号：	201910557024.X	申请日：	2019-06-25
公开（公告）号：	CN110215606A	公开（公告）日：	2019-09-10
发明（设计）人：	罗成志	申请（专利权）人：	武汉华星光电技术有限公司
主分类号：	A61N1/05	分类号：	A61N1/05;B81B3/00;B81C1/00
代理公司：	深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300	代理人：	黄威
地址：	430079 湖北省武汉市***	国省代码：	湖北;42
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摘要：
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【权利要求书】：

1.一种人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，包括：

柔性透明基板(1)；和

透明TFT阵列层(2)，设于所述柔性透明基板(1)上，用于与人眼中的视神经对接，以向所述视神经传输视觉电信号。

2.根据权利要求1所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，还包括设于所述透明TFT阵列层(2)上的透明封装层(3)。

3.根据权利要求2所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，所述透明封装层(3)上设有通孔，所述TFT阵列层(2)上延伸有一穿过所述通孔与所述视神经对接的桥接段(251)。

4.根据权利要求3所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，所述透明TFT阵列层(2)包括设于所述柔性透明基板(1)上的透明栅极(21)、设于所述柔性透明基板(1)及所述透明栅极(21)上并覆盖所述透明栅极(21)的透明绝缘层(22)、设于所述透明绝缘层(22)上的透明有源层(23)、设于所述透明绝缘层(22)及所述透明有源层(23)上的透明源极(24)和透明漏极(25)；

所述透明源极(24)和所述透明漏极(25)分别与所述有源层(23)两端相连接；

所述透明封装层(3)设于所述透明绝缘层(22)、透明有源层(23)、透明源极(24)及所述透明漏极(25)上并覆盖所述透明有源层(23)和透明源极(24)；

所述桥接段(251)一端与所述透明漏极(25)连接，所述桥接段(251)另一端穿过所述通孔与所述视神经对接。

5.根据权利要求2-4任意一项所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，所述柔性透明基板(1)和所述透明封装层(3)的材料均为聚酰亚胺。

6.根据权利要求4所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，所述透明栅极(21)、透明源极(24)、透明漏极(25)与所述桥接段(251)的材料均为氧化铟锡。

7.根据权利要求4所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，所述透明绝缘层(22)的材料为氧化硅。

8.根据权利要求4所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，所述透明有源层(23)的材料为铟镓锌氧化物。

9.根据权利要求4所述的人造视网膜神经柔性微电极装置，其特征在于，所述柔性透明基板(1)的厚度为1um～5um，所述透明绝缘层(22)的厚度为10nm～500nm；所述透明有源层(23)的厚度为10nm～500nm。

10.一种人造视网膜神经柔性微电极装置的制作方法，其特征在于，包括：

形成一柔性透明基板(1)；

在所述柔性透明基板(1)上形成一用于向所述视神经传输视觉电信号的透明TFT阵列层(2)。

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