[发明专利]一种磁多层结构、磁性结器件和磁性随机存储装置及其辅助写入和直接读取方法有效
申请号: | 201910557396.2 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN110379917B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 闵泰;林昊文;周雪;王蕾 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;G11C11/16 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李红霖 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多层 结构 磁性 器件 随机 存储 装置 及其 辅助 写入 直接 读取 方法 | ||
1.一种磁多层结构,其特征在于,用于电场辅助磁性自由层翻转,包括:一电致磁性层(31)和一绝缘辅助层(32);所述电致磁性层(31)和所述绝缘辅助层(32)组成层叠结构;
所述绝缘辅助层(32)中设置有若干微导电通道(38),所述微导电通道(38)用于写入和读取电流的通过;
所述绝缘辅助层(32)的磁化方向垂直于层平面或平行于层平面;
其中,在无电场时,所述电致磁性层(31)处于顺磁状态;所述磁多层结构置于电场中,所述电致磁性层(31)能够实现顺磁态和铁磁态的转变;
所述电致磁性层(31)的材料为单质金属或合金;
所述单质金属为Mg、Al、Ti、V、Cr、Cu、Y、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、Ta、W、Os、Pt或Au;
所述合金的组成元素为Mg、Al、Ti、V、Cr、Cu、Y、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、Ta、W、Os、Pt和Au中的多种;
所述电致磁性层(31)的厚度为0.1nm~10nm;
所述绝缘辅助层(32)的材料为绝缘铁磁材料、绝缘亚铁磁材料或绝缘反铁磁材料。
2.根据权利要求1所述的一种磁多层结构,其特征在于,所述微导电通道(38)的材料为导电金属及其合金、导电化合物、掺杂半导体材料或导电碳系材料。
3.根据权利要求1所述的一种磁多层结构,其特征在于,所述微导电通道(38)的形成方式包括:
将所述微导电通道(38)的材料与所述绝缘辅助层(32)的材料在液态无限互溶,在室温下呈固态且两者有限互溶或不互溶,冷却后结晶析出导电相,导电相相连形成微导电通道(38);
或者,通过刻蚀手段在所述绝缘辅助层(32)中形成通道;在所述通道内沉积所述微导电通道(38)的材料,形成所述绝缘辅助层(32)中的所述微导电通道(38)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的一种磁多层结构,其特征在于,用于控制所述电致磁性层(31)的磁性变化的电场的压降在0.1V~20V之间。
5.一种磁性结器件,其特征在于,包括:磁性结和权利要求1至4中任一项所述的磁多层结构;
所述磁性结包括:一磁性固定层(33)、一磁性自由层(35)和一非磁性间隔层(34);所述磁性固定层(33)、所述非磁性间隔层(34)和所述磁性自由层(35)组成层叠结构,所述非磁性间隔层(34)位于所述磁性固定层(33)和所述磁性自由层(35)之间;
所述磁性自由层(35)的磁化方向可变,所述磁性固定层(33)的磁化方向不变;所述磁性自由层(35)和磁性固定层(33)的磁化方向均垂直于层平面或平行于层平面;
所述电致磁性层(31)位于所述绝缘辅助层(32)和所述磁性自由层(35)之间;
所述磁性结和所述磁多层结构组成磁性固定层(33)-非磁性间隔层(34)-磁性自由层(35)-电致磁性层(31)-绝缘辅助层(32)的层叠结构。
6.一种磁性随机存储装置,其特征在于,包括:第一电流电极(36)、第二电流电极(37)、上电极板、上绝缘层和权利要求5所述的磁性结器件,组成上电极板-上绝缘层-第一电流电极(36)-磁性结器件-第二电流电极(37)的层叠结构;其中,所述第一电流电极(36)与所述磁性固定层(33)接触,所述第二电流电极(37)与所述绝缘辅助层(32)接触;
所述上电极板用于与控制线相连接供给电源产生电场,电致磁性层(31)在所述电场作用下能够实现顺磁态到铁磁态的转变;
所述第一电流电极(36)用于与位线相连接;所述第二电流电极(37)用于通过晶体管(39)与字线和源线相连接;所述第一电流电极(36)和所述第二电流电极(37)用于通入写入和读取电流。
7.根据权利要求6所述的一种磁性随机存储装置,其特征在于,还包括:下电极板和下绝缘层;
组成上电极板-上绝缘层-第一电流电极(36)-磁性结器件-第二电流电极(37)-下绝缘层-下电极板的层叠结构;
所述下电极板和所述第二电流电极(37)均用于通过晶体管(39)与字线和源线相连接。
8.一种辅助写入和直接读取方法,其特征在于,用于权利要求6所述的磁性随机存储装置的辅助写入,上电极板与控制线相连接;第一电流电极(36)与位线相连接;第二电流电极(37)通过晶体管(39)与字线和源线相连接;
包括以下步骤:
在写入时,字线用于控制晶体管(39)的开关,定位写入单元位置;位线和源线用于提供写入电流并控制其方向;在电流通过第一电流电极(36)和第二电流电极(37)穿过磁性结的同时,控制线为上电极板提供电压,在上电极板和第二电流电极(37)间产生电场,使得电场和电流同时控制磁性自由层(35)的翻转,实现数据的写入;
在读取时,字线导通,使位线和源线接通,控制线无信号;通过GMR或者TMR效应获取磁性结的电阻态,实现磁性自由层(35)磁化状态的读取。
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