[发明专利]一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉

说明书

本发明公开了一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，包括底座，所述底座的上端面的左侧固定连接有炉体，所述炉体上盘绕有冷却管，所述底座的上端面的右侧固定连接有储水槽，所述储水槽上端设置有冷却机构，所述冷却机构包括冷却箱体，所述冷却箱体的上端通过连接管贯穿冷却箱体的上端面与冷却箱体内部连通，冷却管与连接管之间固定连接，所述连接管与冷却箱体之间固定连接。本发明，主动齿轮转动的过程中还会带动从动齿轮转动，进而带动从动杆转动，使得从动杆在围绕主动杆转动的过程中还自转，进而使得对热水和冷却液快速的混合冷却，对热水和冷却液的混合液进行搅拌混合，使得二者充分的融合，使得热水快速的降温冷却。

技术领域

本发明涉及多铸锭炉技术领域，尤其涉及一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉。

背景技术

在简单的单铸锭炉中，布置在坩埚上方的加热设备的现有设计通常由两个平行的导体轨道构成，该两个平行的导体轨道利用在轨道之间延伸的、并且垂直于轨道的电阻加热元件来连接。通过使电流通过加热元件来产生热。

多铸锭炉与单铸锭炉相比，每轮生产多个铸锭的多铸锭炉代表了有吸引力的、经济的解决方案，实际上，对于较小的铸锭，更易于控制各铸锭内的结晶参数和材料均匀性，而材料均匀性则使晶片具有优良的最终品质，多铸锭炉在使用的过程中，当材料固化完成之后，使加热设备不工作，然后，允许硅随着处理气体流动的继续而冷却，从而提供附加的冷却效果，一旦冷却，炉的热区随后返回至大气压，当温度已下降至约350摄氏度以下时，将腔室打开并且将固化的材料移除，而然该冷却效果不明显，冷却速度慢，降低了多铸锭炉的冷却效率。

为此，我们提供一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：现有的多铸锭炉在使用的过程中，当材料固化完成之后，使加热设备不工作，然后，允许硅随着处理气体流动的继续而冷却，从而提供附加的冷却效果，一旦冷却，炉的热区随后返回至大气压，当温度已下降至约350摄氏度以下时，将腔室打开并且将固化的材料移除，而然该冷却效果不明显，冷却速度慢，降低了多铸锭炉的冷却效率。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，包括底座，所述底座的上端面的左侧固定连接有炉体，所述炉体上盘绕有冷却管，所述底座的上端面的右侧固定连接有储水槽，所述储水槽上端设置有冷却机构，所述冷却机构包括冷却箱体，所述冷却箱体的上端通过连接管贯穿冷却箱体的上端面与冷却箱体内部连通，冷却管与连接管之间固定连接，所述连接管与冷却箱体之间固定连接，所述冷却箱体内部的底端面固定连接有电机壳，所述电机壳内固定安装有双轴电机，所述双轴电机的上端面的输出端竖直固定连接有主动杆，所述主动杆转动连接在电机壳内，所述主动杆上固定套设有固定板，所述固定板上对称设置有四个连接套，每个所述连接套内均转动连接有从动杆，每个所述从动杆上均对称固定连接有多个搅拌叶，每个所述从动杆的上端面均固定连接有从动齿轮，相邻的两个从动齿轮之间啮合连接，所述主动杆的上端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮的做两侧分别与从动齿轮啮合连接，所述冷却箱体的上端面开设有输液口，所述输液口与转有冷却液的冷却箱相连接，所述冷却箱体的下端面对称固定连接有两个连通管，每个所述连通管的下端均储水槽内连通，所述炉体的上端面设置有炉盖。

优选的，所述双轴电机下端面的输出端通过连接轴贯穿储水槽的上端面并固定连接有螺旋叶，所述螺旋叶的下端转动连接在储水槽的底端面上。

优选的，所述冷却管的下端与储水槽的底端面相连通，所述冷却管的下端固定连接有水泵。

优选的，所述底座的底端面对称开设有四个滑轮槽，每个所述滑轮槽内均固定连接有伸缩气缸。

优选的，每个所述伸缩气缸的下端面的输出端均通过连接板转动连接滑轮，每个所述滑轮均滑动连接在地面上。