[发明专利]一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法

权利要求书

1.一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法，其特征在于该方法按以下步骤完成：

一、在真空环境下，采用离子对聚合物材料进行辐照，得到辐照后的聚合物材料，辐照通量为1×10⁸cm^-2·s^-1～1×10¹⁶cm^-2·s^-1，离子注量为1×10¹¹cm^-2～2×10¹⁹cm^-2；所述的聚合物材料为聚酰亚胺、聚酯、聚对二甲苯、聚乙烯或聚苯乙烯，所述的离子为N⁺、Ar⁺、Si⁺、Au⁺、H⁺或He⁺；

二、对步骤一中得到的辐照后的聚合物材料进行激光退火处理或闪光灯退火处理，得到改性后的聚合物材料；所述的激光退火处理的步骤为：采用波长为0.1μm～10.6μm、功率为0.05J/cm²～0.2J/cm²的激光光源对步骤一中得到的辐照后的聚合物材料进行激光退火处理，得到改性后的聚合物材料，激光加载时间为10ns～200ns；

所述的闪光灯退火处理的步骤为：采用能量密度为0.05J/cm²～0.5J/cm²的闪光灯对步骤一中得到的辐照后的聚合物材料进行闪光灯退火处理，得到改性后的聚合物材料，加载时间为10ns～300ns。

2.根据权利要求1所述的一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法，其特征在于所述的N⁺的能量为100keV～6MeV。

3.根据权利要求1所述的一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法，其特征在于所述的Ar⁺的能量为100keV～6MeV。

4.根据权利要求1所述的一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法，其特征在于所述的Si⁺的能量为100keV～6MeV。

5.根据权利要求1所述的一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法，其特征在于所述的Au⁺的能量为100keV～6MeV。

6.根据权利要求1所述的一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法，其特征在于所述的H⁺的能量为10keV～150keV。

7.根据权利要求1所述的一种聚合物绝缘材料表面原位制备柔性电阻的方法，其特征在于所述的He⁺的能量为10keV～200keV。