[发明专利]一种用于空心阴极束流测量的L型平面探针

权利要求书

1.一种用于空心阴极束流测量的L型平面探针，其特征在于，包括：内表面设有凸台的保护环，内表面和外表面都设有凸台的前陶瓷绝缘环，外表面设有凸台的钨盖，与所述钨盖电性连接的收集器，内表面和外表面都设有凸台的后陶瓷绝缘环，与所述保护环电性连接、固定连接且内表面设有两个凸台的密封螺盖，以及与所述密封螺盖电性连接且固定连接用于将所述L型平面探针固定在位移机构上的夹具；其中，

所述前陶瓷绝缘环的外表面的凸台与所述保护环的内表面的凸台互补，所述前陶瓷绝缘环被限制在所述保护环内；

所述钨盖的外表面的凸台与所述前陶瓷绝缘环的内表面的凸台互补，所述钨盖被限制在所述前陶瓷绝缘环内；

所述钨盖过盈配合套接在所述收集器的头部，所述收集器的杆部穿过所述后陶瓷绝缘环；

所述收集器的头部与杆部之间设有凸台，所述收集器的凸台与所述后陶瓷绝缘环的内表面的凸台互补，所述收集器被限制在所述后陶瓷绝缘环内；

所述后陶瓷绝缘环的外表面的凸台与所述密封螺盖的内表面的一个凸台互补，所述后陶瓷绝缘环被限制在所述密封螺盖内；所述密封螺盖的内表面的另一个凸台将所述保护环限制在内；

所述钨盖和所述收集器，通过所述前陶瓷绝缘环和所述后陶瓷绝缘环，与所述保护环和所述密封螺盖相互绝缘。

2.如权利要求1所述的L型平面探针，其特征在于，所述密封螺盖与所述保护环通过螺纹固定连接。

3.如权利要求1所述的L型平面探针，其特征在于，所述夹具的头部将所述密封螺盖限定在内，所述夹具的头部与所述密封螺盖通过焊接固定连接；

所述夹具的杆部设有多个第一通孔，利用螺栓穿过所述第一通孔并利用螺母固定，将所述L型平面探针固定在位移机构上。

4.如权利要求3所述的L型平面探针，其特征在于，还包括：与所述夹具的后端面固定连接的后密封盖；所述后密封盖覆盖所述夹具的后端面、所述密封螺盖的后端面、所述后陶瓷绝缘环的后端面以及所述收集器的后端面；

所述后密封盖与所述密封螺盖的后端面之间以及所述后密封盖与所述后陶瓷绝缘环的后端面之间具有空隙，所述后密封盖与所述夹具的后端面的接触处设有线圈孔，所述线圈孔与所述空隙连通；所述收集器的接线与所述收集器的头部电性连接，并缠绕于所述收集器的杆部上，从所述空隙和所述线圈孔引出；

所述后密封盖与各所述第一通孔的对应位置设置有第二通孔，利用螺栓穿过所述第一通孔与所述第二通孔并利用螺母固定，将所述L型平面探针固定在位移机构上。

5.如权利要求1-4任一项所述的L型平面探针，其特征在于，所述保护环的前端面、所述前陶瓷绝缘环的前端面以及所述钨盖的前端面位于同一平面内。

6.如权利要求1-4任一项所述的L型平面探针，其特征在于，所述保护环的接线与所述保护环电性连接；或者，

所述保护环的接线与所述密封螺盖电性连接；或者，

所述保护环的接线与所述夹具电性连接。