[发明专利]用于半导体制造设备的气体管路控制装置

权利要求书

1.一种用于半导体制造设备的气体管路控制装置，所述半导体制造设备包括处理气体供给管路、处理气体排出管路和保护气体供给管路，所述气体管路控制装置包括：

保护气体供给阀，设置在所述保护气体供给管路中，被配置为在所述保护气体供给阀处于打开状态时，使得所述保护气体供给管路与所述处理气体排出管路处于连通状态，以向所述处理气体排出管路供给保护气体，以及在所述保护气体供给阀处于关断状态时，使得所述保护气体供给管路与所述处理气体排出管路处于非连通状态，以禁止向所述处理气体排出管路供给保护气体；以及

第一控制开关，与所述保护气体供给阀电连接，被配置为在接收到保护气体供给信号时，使得所述保护气体供给阀处于打开状态，并且在未接收到保护气体供给信号时，使得所述保护气体供给阀处于关断状态。

2.如权利要求1所述的气体管路控制装置，其中，所述保护气体供给信号包括处理气体供给信号或者处理气体排出信号。

3.如权利要求2所述的气体管路控制装置，其中，在所述保护气体供给信号包括处理气体供给信号时，所述气体管路控制装置包括：

处理气体供给检测器，设置在所述处理气体供给管路中，被配置为检测所述处理气体供给管路中是否存在处理气体供给，

其中，所述处理气体供给检测器与所述第一控制开关电连接，并且在所述处理气体供给检测器检测到所述处理气体供给管路中存在处理气体供给时，向所述第一控制开关提供所述处理气体供给信号。

4.如权利要求3所述的气体管路控制装置，其中，所述半导体制造设备还包括处理气体供给控制阀，设置在所述处理气体供给管路中，所述处理气体供给信号包括所述处理气体供给控制阀的打开状态信号。

5.如权利要求2所述的气体管路控制装置，其中，在所述保护气体提供状态信号包括处理气体排出信号时，所述气体管路控制装置包括：

处理气体排出信号检测器，设置在所述处理气体排出管路中，被配置为在检测到所述处理气体供给管路中存在排出气体时，生成所述处理气体排出信号。

6.如权利要求1所述的气体管路控制装置，其中，所述第一控制开关被配置为：

在未接收到所述保护气体供给信号时，延时第一预定时间后，使得所述保护气体供给阀处于关断状态。

7.如权利要求1所述的气体管路控制装置，还包括：

保护气体供给检测器，设置在所述保护气体供给管路中，被配置为检测所述保护气体供给管路中是否存在保护气体供给；以及

提示单元，与所述保护气体供给检测器电连接，被配置为在接收到保护气体供给信号并且所述保护气体供给检测器检测到所述保护气体供给管路中未供给保护气体时，通知提示信号，所述提示信号用于提示不允许进行处理气体排出。

8.如权利要求7所述的气体管路控制装置，其中，所述供给状态检测器包括供给状态开关，所述提示单元包括第二控制开关和提示模块，所述第二控制开关与所述供给状态开关电连接，所述提示模块与所述供给状态开关和所述第二控制开关并联，

所述第二控制开关被配置为在接收到所述保护气体供给信号时断开，

所述供给状态开关被配置为：在所述保护气体供给管路中存在保护气体供给时闭合，以及在所述保护气体供给管路中不存在保护气体供给时断开，

所述提示模块被配置为：在所述第二控制开关和所述供给状态开关均断开时，指示不允许排出处理气体。

9.如权利要求8所述的气体管路控制装置，其中，所述保护气体供给检测器包括流体检测开关，被配置为在检测到气体流动时闭合，并在未检测到气体流动时断开。

10.如权利要求8所述的气体管路控制装置，其中，所述第二控制开关被配置为：

在接收到所述保护气体供给信号时，延时第二预定时间后断开。