[发明专利]可独立控制的激光分时分光光路、激光加工系统及方法

说明书

本发明提供一种可独立控制的激光分时分光系统，包括激光光源、至少2条分光光路和数字脉冲延时发生器；每条分光光路均包括电光调制器和偏振分束器，各分光光路依次排列；激光光源发出一定频率的激光脉冲顺次经过第一至最后一条分光光路的电光调制器和偏振分束器，由电光调制器分出部分激光脉冲从偏振分束器输出；数字脉冲延时发生器用于触发激光脉冲，设定激光脉冲的频率，以及各分光光路的电光调制器的频率和延时。本发明利用电光调制器和偏振分束器实现激光的分束的同时，各分光光路相互独立，解决了传统分光光路不能加工不同图形的问题，及分光后光路之间互相影响，加工效率低的问题。

技术领域

本发明属于激光分光技术领域，具体涉及一种可独立控制的激光分时分光系统、激光加工系统及方法。

背景技术

激光的分光包括功率分光和分时分光，采用电光调制器可以对激光的频率在时间上进行分光，属于一种分时分光技术。中国发明专利CN103042305A公开了一种使用电光器件进行分时分光的方法，该方法可以将激光在频率上进行分光，但是分光后无法对两路激光的开关进行独立控制。使用这种分光光路无法加工不同的图形，使用这种分光光路加工相同的图形时，也会存在两路激光延时不同步的问题，从而会影响加工质量和加工效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种可独立控制的激光分时分光系统、激光加工系统及方法，互不影响。

本发明为解决上述技术问题所采取的技术方案为：一种可独立控制的激光分时分光系统，其特征在于：它包括激光光源、至少2条分光光路和数字脉冲延时发生器；其中，每条分光光路均包括电光调制器和偏振分束器，各分光光路依次排列；激光光源发出一定频率的激光脉冲顺次经过第一至最后一条分光光路的电光调制器和偏振分束器，由电光调制器分出部分激光脉冲从偏振分束器输出；数字脉冲延时发生器用于触发激光脉冲，设定激光脉冲的频率，以及各分光光路的电光调制器的频率和延时。

按上述方案，所述的数字脉冲延时发生器以频率f触发激光脉冲，设定各分光光路的电光调制器的频率之和小于或等于f，且各分光光路相互之间的信号之间设有延时、使得激光脉冲没有被重复地分到分光光路中。

按上述方案，它还包括触发控制器，用于为所述的每个电光调制器提供触发信号，触发电光调制器的开关，电光调制器在触发信号和数字脉冲延时发生器的频率控制共同作用下进行分光。

按上述方案，所述的激光光源与第一条分光光路之间还设有相位延迟器。

按上述方案，本分时分光系统还包括光束截止器，设置在最后一条分光光路的后端，用于吸收没有被分出的激光脉冲。

一种激光加工系统，其特征在于：本系统包括所述的可独立控制的激光分时分光系统；每条分光光路输出的激光脉冲分别作为一条加工光路，用于激光加工，每条加工光路配有对应的用于控制加工路径和电光调制器开关的控制器；根据每条加工光路对应的激光加工时序，数字脉冲延时发生器为激光光源和各分光光路的电光调制器设定频率，同时控制器给对应加工光路的电光调制器发出触发信号。

按上述系统，数字脉冲延时发生器设定激光光源的频率为f，设定各分光光路的电光调制器的频率为f/n，n为分光光路的总条数，且在后一条分光光路相对在前一条分光光路的信号起始时间相差1个激光脉冲周期1/f。

按上述系统，所述的每条加工光路对应的加工图形相同；每个控制器给对应加工光路的电光调制器发出触发信号的周期也相同；当对应的加工光路正在加工时，控制器发出的触发信号为高电平；当对应的加工光路未在加工时，控制器发出的触发信号为低电平。