[发明专利]一种旋转滑动式腔门机构及真空腔体

说明书

本发明公开了一种旋转滑动式腔门机构及真空腔体，所述旋转滑动式腔门机构包括安装框架、滑动安装在安装框架上的腔门以及固定在安装框架上并驱动腔门滑动的驱动机构A，腔门与腔体本体进出口相适配，安装框架的一侧转动连接在腔体本体进出口一侧外部，并由驱动机构B驱动旋转，使腔门与腔体本体进出口紧密贴合；所述真空腔体包含所述旋转滑动式腔门机构。本发明通过设置滑动的腔门，实现腔门的开合，安装框架设置成可转动形式，在驱动机构B的作用下，使腔门与腔体进出口紧密贴合，从而保证腔体的密封性。

技术领域

本发明涉及真空技术领域，尤其涉及一种旋转滑动式腔门机构及真空腔体。

背景技术

现有真空腔体的腔门大多是铰接在腔体进出口的一侧，或者，腔门通过滑动方式朝着腔体进出口方向滑动，进而与进出口密封形成真空腔体，这两种方式的真空腔体在取出已处理材料或放入未处理材料时，要么需要将腔门滑动与腔体间隔足够的距离，要么需要将腔门完全打开，才能完成进出材料的交换，整个过程中，腔门需要占据较大的活动空间。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的目的是提供一种旋转滑动式腔门机构及真空腔体，该旋转滑动式腔门机构通过在安装框架上设置滑动的腔门实现开合，腔门向一侧滑动，使腔体进出口暴露，腔门滑动至起始位置后，将腔体进出口遮盖，为了保证腔体的密封性，安装框架设置成可转动形式，待腔体进出口被腔门遮盖后，驱动安装框架朝着腔体进出口方向转动，使腔门与腔体进出口紧密贴合，从而保证腔体的密封性。

本发明的上述目的可采用下列技术方案来实现：第一方面，本发明提供的旋转滑动式腔门机构，包括安装框架、滑动安装在安装框架上的腔门以及固定在安装框架上并驱动腔门滑动的驱动机构A，腔门与腔体本体进出口相适配，安装框架的一侧转动连接在腔体本体进出口一侧外部，并由驱动机构B驱动旋转，使腔门与腔体本体进出口紧密贴合。

在上述技术方案中，当需要取出腔体本体内的物料或放入待处理物料时，先通过驱动机构B使安装框架旋转一个较小的角度即可，也即使腔门与腔体本体进出口分离，然后通过驱动机构A驱动腔门滑动，使腔门滑离腔体本体进出口，腔体本体进出口处理暴露状态，通过安装框架上与腔体本体进出口相对应的的空间即可实现腔体本体的取放物料，整个过程中不需要使安装框架发生大幅度的旋转，对应采用小行程的驱动机构即可，安装框架活动占据空间较小，取放物料也较为方便。

作为本发明的一个优选实施方式，进一步地，安装框架包括左右平行分布的两根滑轨、连接两根滑轨下端的连接杆A以及转动安装在连接杆A两端的轴承座，两根滑轨分别平行设置在腔体本体进出口左右两侧，两滑轨之间的距离大于腔体本体进出口左右两侧之间的距离，保证腔门能够紧密贴合腔体本体进出口，保证真空腔室的密封性，滑轨的长度不小于腔门在滑轨方向长度的两倍，从而保证腔门滑离腔体本体进出口后不脱离滑轨。

更进一步地，两侧滑轨的上端均设有限位块，或者，两侧滑轨的上端通过连接杆B固定连接，限位块和连接杆B起到限位作用，防止腔门滑离滑轨导致脱落的现象。

再进一步地，驱动机构A为气缸，其气缸轴端部与腔门外侧设置的连接件A固定连接，气缸轴方向与滑轨方向一致，腔门内侧两边缘均设有与滑轨相配合的滑块，在驱动机构A的作用下，腔门通过滑块沿着滑轨滑动。

第二方面，本发明提供了一种真空腔体，其包括腔体本体以及设置在腔体本体进出口的腔门机构，腔门机构为第一方面中任一种方案中的旋转滑动式腔门机构；腔体本体进出口边缘设有密封圈，腔门滑动至与腔体本体进出口相对应的位置处并与密封圈紧密贴合时，腔体本体内部与腔门围成真空腔室。

作为本发明的一个优选实施方式，进一步地，腔门机构中的驱动机构B通过固定安装板固定在腔体本体的外壁，驱动机构B为气缸，其气缸轴端部与滑轨内侧设置的连接件B连接。