[发明专利]铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板

权利要求书

1.一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，包括：

形成氧化锌层的步骤：在原子层沉积装置中持续通入预设时间的锌前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；

形成氧化镓层的步骤：在原子层沉积装置中持续通入预设时间的镓前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；

形成氧化铟层的步骤：在原子层沉积装置中持续通入预设时间的铟前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；以及

重复预设次数的形成氧化锌层的步骤、形成氧化镓层的步骤和形成氧化铟层的步骤以形成铟镓锌氧化物薄膜；

所述锌前驱体包括二甲基锌；所述镓前驱体包括三甲基镓；所述铟前驱体包括三甲基铟；

所述形成氧化锌层的步骤包括：在原子层沉积装置中通入0.02秒的二甲基锌，停留5秒的时间，通入10秒时间的惰性气体吹扫，通入0.02秒的液态水，停留5秒的时间，通入5秒时间的惰性气体吹扫；

所述形成氧化镓层的步骤包括：在原子层沉积装置中通入0.03秒的三甲基镓，停留5秒的时间，通入10秒时间的惰性气体吹扫，通入0.02秒的液态水，停留5秒的时间，通入5秒时间的惰性气体吹扫；

所述形成氧化铟层的步骤包括：在原子层沉积装置中通入0.02秒的三甲基铟，停留5秒的时间，通入10秒时间的惰性气体吹扫，通入0.02秒的液态水，停留5秒的时间，通入5秒时间的惰性气体吹扫；

所述形成铟镓锌氧化物薄膜的步骤包括：重复500次的形成氧化锌层的步骤，形成氧化镓层的步骤和形成氧化铟层的步骤以形成铟镓锌氧化物薄膜；

其中，所述二甲基锌、三甲基镓、三甲基铟和水通入的速率设置为20标准毫升/分钟。

2.如权利要求1所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述氧前驱体包括水、臭氧和氧气中的至少一种；所述惰性气体包括氩气和氦气的至少一种。

3.如权利要求2所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述原子层沉积装置的预设工作温度在150摄氏度至250摄氏度之间。

4.一种薄膜晶体管,其特征在于，包括如上述权利要求1-3任意一项所述的铟镓锌氧化物薄膜，以及衬底和依次在衬底形成的第一金属层、栅极绝缘层、第二金属层、钝化层和透明电极层；

所述铟镓锌氧化物薄膜形成在所述栅极绝缘层和第二金属层之间。

5.一种显示面板，其特征在于，包括上述权利要求4所述的薄膜晶体管。