[发明专利]一种高纯硫系相变合金靶材的焊接方法在审
| 申请号： | 201910564882.7 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110394538A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 张晓娜;万小勇;张巧霞;宋艳青;何金江;丁照崇;李勇军;陈明 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/24 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 100088 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 焊接 靶材 背板 相变合金 高纯硫 焊接面 焊合 靶材冷却 表面状态 焊接压力 面相接触 焊缝 浸润性 胶带 对靶 施加 客户 优化 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯硫系相变合金靶材的焊接方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)提供高纯硫系相变合金靶材与背板；
2)靶材和背板焊接面进行表面处理；
3)在靶材和背板焊接面上放置适量有机焊接胶；
4)将靶材焊接面与背板焊接面相接触，施加一定压力，进行焊接；
5)将焊接后的靶材冷却，以完成焊接。
2.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于：步骤1)所述靶材材质为：硒、碲、砷、锗、硅多元合金。
3.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于：步骤1)所述背板材质为金属或合金材料。
4.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，步骤2)所述表面处理方式为：在靶材及背板焊接面进行喷砂处理，以提高粘结面粗糙度，粗糙度为1μm～8μm；喷砂后进行磁控溅射金属化，以提高多元硫系合金与有机焊接胶的浸润性，增加焊接面积，提高焊合率。
5.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于：步骤3)中所述有机焊接胶为环氧型、有机硅型的导电导热胶。
6.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于：步骤3)中所述有机焊接胶的固化温度范围：40℃～70℃。
7.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于：步骤3)中所述有机焊接胶的固化时间为：2h～24h。
8.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于：步骤4)中所述加压固定时，施加的压力范围为2～5Pa。
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