[发明专利]一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括驱动质量块、传动部件、科氏力质量块，并且限定了相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向；所述驱动质量块被设置为可沿所述第一方向活动；所述传动部件分别通过具有弹性的结构与所述驱动质量块和所述科氏力质量块相连接；所述驱动质量块在沿所述第一方向活动时，带动所述传动部件活动，进而使所述传动部件驱动所述科氏力质量块仅沿所述第二方向活动；所述传动部件与所述科氏力质量块的连接适于所述科氏力质量块在科氏力的作用下仅沿所述第三方向活动；所述传动部件包括第一刚性件，所述第一刚性件分别通过第一弹性件和第二弹性件与所述驱动质量块和固定锚点相连接，从而所述驱动质量块在沿所述第一方向活动时可带动所述第一刚性件活动；所述第一弹性件和所述第二弹性件沿所述第二方向延伸；所述传动部件还包括第二刚性件，所述第二刚性件与所述第一刚性件间隔设置并且两者通过第三弹性件相连接，所述第三弹性件适于使所述第一刚性件在沿所述第二方向活动时，带动所述第二刚性件也沿所述第二方向活动；所述第二刚性件一端与所述第一刚性件通过所述第三弹性件相连接，另一端通过第四弹性件与固定锚点相连接；所述第一刚性件和所述第二刚性件分别通过第五弹性件和第六弹性件与所述科氏力质量块相连接，从而当所述第一刚性件和所述第二刚性件沿所述第二方向活动时，带动所述科氏力质量块也沿所述第二方向活动；所述第五弹性件和所述第六弹性件沿所述第二方向延伸。

2.如权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，还包括驱动电极，所述驱动电极固定设置，其与所述驱动质量块相配合形成驱动电容，从而可通过静电力驱动所述驱动质量块沿所述第一方向活动。

3.如权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，还包括检测电极，所述检测电极被固定设置在所述科氏力质量块沿所述第三方向的一侧，两者相配合形成检测电容。

4.如权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，包括两个所述驱动质量块和两个所述传动部件，将其中一个所述驱动质量块和与其相配合的所述传动部件设置在所述科氏力质量块的一侧，将另一个所述驱动质量块和与其相配合的所述传动部件对称地设置于所述科氏力质量块的另一侧。

5.如权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，包括两个所述科氏力质量块，在所述传动部件的驱动下，两个所述科氏力质量块沿所述第二方向的运动方向相反。