[发明专利]微机械构件和用于制造微机械构件的方法

权利要求书

1.微机械构件(1)，尤其是转速传感器，具有具有主延伸平面的衬底(10)和至少一个质量振子(12)，其中，质量振子(12)通过一个或多个弹簧元件(13)相对于衬底(10)能振动地支承，其特征在于，至少一个弹簧元件(13)具有第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)，其中，第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上叠置地布置并且在该垂直方向(18)上彼此间隔开。

2.根据权利要求1所述的微机械构件(1)，其中，所述第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)之间的垂直距离大于所述第一弹簧部分元件(14)的垂直延伸尺度和所述第二弹簧部分元件(15)的垂直延伸尺度。

3.根据权利要求1或2所述的微机械构件(1)，其中，在所述第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)之间至少在部分区域(28)中布置加强结构(27)。

4.根据权利要求3所述的微机械构件(1)，其中，所述加强结构(27)具有较高的刚度和/或所述弹簧部分元件(14,15)在所述加强结构(27)的区域(28)中具有较大的宽度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)具有基本相同的横截面和/或彼此平行地延伸。

6.用于制造微机械构件(1)的方法，其中，

-在第一步骤中沉积具有主延伸平面的第一功能层，

-在第二步骤中通过蚀刻第一功能层产生第一弹簧部分元件(14)，

-在第三步骤中沉积第二功能层，其中，第二功能层在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上布置在第一功能层上方，

-在第四步骤中通过蚀刻第二功能层产生第二弹簧部分元件(15)，使得第二弹簧部分元件(15)在垂直方向(18)上与第一弹簧部分元件(14)相覆盖。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第一功能层和第二功能层的沉积这样进行，使得所述第一功能层和第二功能层具有基本相同的厚度。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，所述第一功能层和第二功能层的蚀刻这样进行，使得所述第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)基本具有相同的蚀刻角度(20)。

9.根据权利要求6至8之一所述的方法，其中，在第一步骤之后和第三步骤之前的第五步骤中沉积第三功能层，其中，第三功能层布置在第一功能层和第二功能层之间。

10.根据权利要求6至9之一所述的方法，其中，在所述第五步骤之后的步骤中通过蚀刻所述第三功能层产生加强结构(27)，使得所述加强结构(27)在垂直方向(18)上与所述第一弹簧元件(14)和第二弹簧元件(15)相覆盖。