[发明专利]平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法

权利要求书

1.一种平行度测量装置，用于测量第一表面和第二表面的平行度，其特征在于，包括：

准直仪，发射测量光束；

第一光学元件，与所述第一表面平行，反射部分所述测量光束至所述准直仪，并透射部分所述测量光束；

第二光学元件，与所述第二表面平行，位于所述第一光学元件远离所述准直仪一侧，反射透过所述第一光学元件的所述测量光束至所述准直仪。

2.根据权利要求1所述的平行度测量装置，其特征在于，所述第一光学元件包括第一平行平板和位于所述第一平行平板上的第一半透半反膜。

3.根据权利要求1所述的平行度测量装置，其特征在于，所述第二光学元件包括第二平行平板和位于所述第二平行平板上的全反射膜，或者，所述第二光学元件包括反射镜。

4.一种打压机平行度测量系统，所述打压机包括打压头和打压底座，其特征在于，包括权利要求1-3任一项所述的平行度测量装置；

第一光学元件与所述打压头固定，第二光学元件与所述打压底座固定，以使所述第一光学元件平行于所述打压头朝向所述打压底座一侧的表面，所述第二光学元件平行于所述打压底座朝向所述打压头一侧的表面；或者，

所述第二光学元件与所述打压头固定，所述第一光学元件与所述打压底座固定，以使所述第二光学元件平行于所述打压头朝向所述打压底座一侧的表面，所述第一光学元件平行于所述打压底座朝向所述打压头一侧的表面。

5.根据权利要求4所述的打压机平行度测量系统，其特征在于，还包括间隔物，所述间隔物位于所述第一光学元件与所述第二光学元件之间。

6.根据权利要求5所述的打压机平行度测量系统，其特征在于，所述间隔物为橡胶垫。

7.根据权利要求4所述的打压机平行度测量系统，其特征在于，还包括显示器，与准直仪相连接，用于显示所述准直仪的接收面接收到的光束；

所述第一光学元件反射的测量光束在所述接收面中形成点A，所述第二光学元件反射的测量光束在所述接收面中形成点B，所述打压头和所述打压底座的倾斜夹角Δ满足：

其中，Δx为点A和点B在所述接收面中沿X方向上的距离，Δy为点A和点B在所述接收面中沿Y方向上的距离，t为所述显示器上显示的刻度值与倾斜角度的转化系数。

8.一种平行度测量装置的测量方法，用于测量第一表面和第二表面的平行度，其特征在于，包括：

控制准直仪发射测量光束，所述测量光束依次照射第一光学元件和第二光学元件；

根据所述准直仪接收的所述第一光学元件和所述第二光学元件反射的测量光束，实现对所述第一表面和所述第二表面平行度的测量；

其中，所述第一光学元件与所述第一表面平行，所述第一光学元件反射部分所述测量光束至所述准直仪，并透射部分所述测量光束；所述第二光学元件与所述第二表面平行，所述第二光学元件位于所述第一光学元件远离所述准直仪一侧，反射透过所述第一光学元件的所述测量光束至所述准直仪。

9.一种打压机平行度测量系统的测量方法，所述打压机包括打压头和打压底座，其特征在于，包括权利要求8所述的平行度测量装置的测量方法；

在控制准直仪发射测量光束，所述测量光束依次照射第一光学元件和第二光学元件之前，所述打压机平行度测量系统的测量方法还包括：

将所述第一光学元件与所述打压头固定，所述第二光学元件与所述打压底座固定；或者，

将所述第二光学元件与所述打压头固定，所述第一光学元件与所述打压底座固定。

10.根据权利要求9所述的打压机平行度测量系统的测量方法，其特征在于，所述打压机平行度测量系统还包括间隔物，所述间隔物位于所述第一光学元件与所述第二光学元件之间；

将所述第一光学元件与所述打压头固定，所述第二光学元件与所述打压底座固定，包括：

控制所述打压头朝向打压底座运动，并使打压头压附固定所述第一光学元件，所述打压底座压附固定所述第二光学元件；

将所述第二光学元件与所述打压头固定，所述第一光学元件与所述打压底座固定，包括：

控制所述打压头朝向打压底座运动，并使打压头压附固定所述第二光学元件，所述打压底座压附固定所述第一光学元件。