[发明专利]一种基板固定装置

说明书

本发明属于基板固定技术领域，公开了一种基板固定装置，其包括支撑框架、若干吸盘组件及若干吸附条组件，其中，若干吸盘组件的顶面形成支撑基板的承载平面，吸附条组件设置于支撑框架的上且分布于支撑框架的四侧，吸附条组件被配置为吸附基板，且所述吸附条组件的吸附面与承载平面平齐。本发明提供的基板固定装置通过设置吸盘组件与吸附条组件配合使用来吸附基板，保证了该基板固定装置具有较大的吸附能力；通过增加吸附条组件，从基板的四边对基板进行吸附，相较于只采用吸盘来吸附，在保证相同的吸附力的前提下能够有效地减少吸盘的使用数量，因此，在对基板进行检测时，吸盘组件会对基板造成的遮挡较少，减小了基板的非检测区。

技术领域

本发明涉及基板固定技术领域，尤其涉及一种基板固定装置。

背景技术

对基板固定通常采用真空吸附的方式，即在固定装置上设置有呈阵列排布的若干吸盘，基板通过机械手放置于吸盘上，抽真空设备对吸盘抽真空，使得基板吸附于吸盘上。由于吸盘的吸附力有限，为了保证有效固定基板，吸盘的数量设置较多，现有技术中有设置120个吸盘，由于吸盘设置数量过多，在对基板进行检测时，吸盘会对基板造成较大程度的遮挡，使得基板的非检测区较大。

因此，亟需一种基板固定装置，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板固定装置，在保证对基板的吸附力的同时减小基板的非检测区。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种基板固定装置，包括：

支撑框架；

若干吸盘组件，设置于所述支撑框架上，若干所述吸盘组件的顶面形成支撑基板的承载平面；及

若干吸附条组件，所述吸附条组件设置于所述支撑框架的上且分布于所述支撑框架的四侧，所述吸附条组件的吸附面被配置为吸附基板，且所述吸附条组件与所述承载平面平齐。

作为优选，所述吸附条组件包括：

支撑架，设置于所述支撑框架上；及

吸附条，设置于所述支撑架上，所述吸附条的顶面为所述吸附面。

作为优选，所述吸附条的内部中空且顶面开设有若干连通于内部的吸附孔，所述吸附条的侧面开设有与内部连通的抽真空孔，所述抽真空孔连接一抽真空设备。

作为优选，所述吸附条的内部中空且顶面开设有狭缝，所述狭缝连通于所述吸附条的内部，所述吸附条的侧面开设有与内部连通的抽真空孔，所述抽真空孔连接一抽真空设备。

作为优选，所述基板固定装置还包括至少两组定位机构，所述定位机构包括分别设置于所述支撑框架相对两边的两个靠位组件，两个所述靠位组件能够相向或相背移动。

作为优选，所述靠位组件包括：

气缸，设置于所述支撑框架上；及

靠位柱，连接于所述气缸的输出端，每组所述定位机构的两个所述靠位组件的所述靠位柱能够相向或相背移动。

作为优选，所述基板固定装置还包括压紧机构，所述压紧机构被配置为将所述基板朝向所述承载平面压紧。

作为优选，所述压紧机构包括支撑组件及下压组件，所述支撑组件设置于所述支撑框架上，所述下压组件设置于所述支撑组件或所述支撑框架上，所述下压组件被配置为将所述基板朝向所述支撑组件压紧。

作为优选，所述压紧机构包括下压组件，所述下压组件被配置为将所述基板朝向所述吸附条组件压紧。

作为优选，所述下压组件包括：

驱动件，设置于所述支撑框架上；