[发明专利]PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法

权利要求书

1.一种PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法，其特征在于，包括步骤：

混合第一PDMS预聚物和第一固化剂，获得PDMS混合物；

将所述PDMS混合物旋涂于SU－8凹模(1)，获得PDMS微透镜阵列(2)；

混合第二PDMS预聚物、Fe₃O₄颗粒和第二固化剂，获得PDMS－Fe₃O₄纳米颗粒混合物；

将所述PDMS－Fe₃O₄纳米颗粒混合物旋涂于所述PDMS微透镜阵列(2)，获得未固化的PDMS－Fe₃O₄复合涂膜(3)；

将未分离的所述SU－8凹模(1)、所述PDMS微透镜阵列(2)和所述PDMS－Fe₃O₄复合涂膜(3)置于均匀强磁场中；

固化所述PDMS－Fe₃O₄复合涂膜(3)，获得PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列(4)，其中，所述PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列(4)包括PDMS基磁流变弹性体薄膜。

2.根据权利要求1所述的PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述获得PDMS混合物之后，包括：

将所述PDMS混合物在真空罩中抽真空。

3.根据权利要求2所述的PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述将所述PDMS混合物旋涂于SU－8凹模(1)，获得PDMS微透镜阵列(2)，包括：

将所述PDMS混合物滴于SU－8凹模(1)的中心部位，所述PDMS混合物流动覆盖所述SU－8凹模(1)的阵列区域；

固化所述PDMS混合物，获得所述PDMS微透镜阵列(2)。

4.根据权利要求1所述的PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述混合第二PDMS预聚物、Fe₃O₄颗粒和第二固化剂，获得PDMS－Fe₃O₄纳米颗粒混合物，包括：

混合所述第二PDMS预聚物和所述Fe₃O₄颗粒，获得中间混合物；

混合所述中间混合物与所述第二固化剂，获得所述PDMS－Fe₃O₄纳米颗粒混合物。

5.根据权利要求4所述的PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述Fe₃O₄颗粒的粒径为20nm，所述Fe₃O₄颗粒的重量百分数为1wt％。

6.根据权利要求1所述的PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述均匀强磁场的磁场方向平行或垂直于所述PDMS－Fe₃O₄复合涂膜(3)。

7.根据权利要求1所述的PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述获得PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列(4)之后，包括：

将所述PDMS基双层结构磁响应微透镜阵列(4)从所述SU－8凹模(1)上剥离。