[发明专利]一种具有高声电转换效率的柔性声传感器有效
| 申请号： | 201910571790.1 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110311032B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 武小童;魏岑;何儿;王富军;王璐 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/22;H01L41/25 |
| 代理公司： | 上海统摄知识产权代理事务所(普通合伙) 31303 | 代理人： | 辛自豪 |
| 地址： | 201620 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高声 转换 效率 柔性 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有高声电转换效率的柔性声传感器，其特征是：具有复合层结构，复合层为三层，包括依次相邻的上电极层、压电膜层和下电极层；上电极层、压电膜层和下电极层的厚度分别为5~20μm、30~100μm和0.5~3cm；压电膜层为PVDF膜层，PVDF膜是采用静电纺丝方法制得的；下电极层为导电水凝胶层或导电橡胶层，下电极层上设有盲孔，且盲孔的孔口所在的下电极层的表面与压电膜层结合，盲孔的孔口面积为0.79cm2，体积为0.55cm3，分布密度为1个/9cm2，盲孔的形状为球缺状、棱柱状、棱台状、棱锥状、圆台状或圆锥状；柔性声传感器在分贝为80dB且频率为220Hz的声波下的最大电压输出为1.5~2.2mV/cm2。
2.根据权利要求1所述的一种具有高声电转换效率的柔性声传感器，其特征在于，上电极层为金属镀层。
3.根据权利要求1所述的一种具有高声电转换效率的柔性声传感器，其特征在于，压电膜层为掺杂多壁碳纳米管和/或纳米蒙脱土的PVDF膜层，多壁碳纳米管和纳米蒙脱土的掺杂量分别为0.03~0.1wt%和0.5~1.5wt%，掺杂多壁碳纳米管和/或纳米蒙脱土的PVDF膜是采用静电纺丝方法制得的。
4.根据权利要求1所述的一种具有高声电转换效率的柔性声传感器，其特征在于，压电膜层与下电极层之间是通过粘合方式结合的。
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