[发明专利]一种太阳能光伏电池制造用扩散炉

说明书

本发明涉及扩散炉技术领域，且公开了一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，包括炉体、石英舟、SiC桨和送料机构，所述石英舟位于所述炉体内，所述SiC桨的数量为两个，且两个所述SiC桨均位于所述石英舟的外侧，一个所述SiC桨的一侧与送料机构固定连接，所述送料机构固定安装于所述炉体的一侧，所述炉体内开设有外圆环槽，所述外圆环槽的底部开设有内圆环槽，所述内圆环槽的数量为两个。该太阳能光伏电池制造用扩散炉，通过加热部位处于匀速变换状态，即可提高加热的均匀性，同时两个SiC桨在转动时，始终有一部分处于石英舟的底部，对石英舟起到支撑作用，因此也可以保证石英舟在加热时，处于稳定的状态。

技术领域

本发明涉及扩散炉技术领域，具体为一种太阳能光伏电池制造用扩散炉。

背景技术

太阳能光伏电池用于把太阳的光能直接转化为电能，目前地面光伏系统大量使用的是以硅为基底的硅太阳能电池。硅在使用之前，需要通过扩散炉进行扩散、氧化、退火、合金及烧结。扩散炉的进出舟系统包括悬臂桨系统和软着陆系统，悬臂桨系统是通过SiC桨携带石英舟和硅片进入石英炉管后，就停留在石英炉管内，直到工艺程序结束，SiC桨就携带舟和硅片慢慢回到原位，但是，该系统在加热时，为了防止对SiC桨的损坏，因此SiC桨通常采用耐高温材料制成，而SiC桨会包围石英舟的侧边，导致该部分的加热受阻，出现受热不均匀的情况，同时石英舟在加热时，炉体内会产生大量的工艺气体，气体中的颗粒在上升过程中会附着在石英舟表面，在长时间的附着下，会导致石英舟表层变厚，导热性能降低，影响对内部硅体的加热效果。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，具备保证硅体加热的均匀性和提高对硅体加热效果的优点，解决了硅体加热不均匀和硅体加热效果下降的问题。

本发明提供如下技术方案：一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，包括炉体、石英舟、SiC桨和送料机构，所述石英舟位于所述炉体内，所述SiC桨的数量为两个，且两个所述SiC桨均位于所述石英舟的外侧，一个所述SiC桨的一侧与送料机构固定连接，所述送料机构固定安装于所述炉体的一侧，所述炉体内开设有外圆环槽，所述外圆环槽的底部开设有内圆环槽，所述内圆环槽的数量为两个，且两个所述内圆环槽均与炉体的内腔连通，两个所述内圆环槽内均滑动安装有滑块，两个所述滑块的同一侧均固定安装有连接弧板，两个所述连接弧板的同一侧固定安装有转动环板，两个所述滑块的内侧均固定安装有弧形连接块，且两个弧形连接块分别与两个所述SiC桨的外侧固定连接。

优选的，所述SiC桨为半圆状，两个所述SiC桨以所述石英舟的轴线为中心呈180°对称位于所述石英舟的外侧，且两个所述SiC桨分别位于所述石英舟外侧的两边。

优选的，所述SiC桨均通过电磁铁分别与送料机构和弧形连接块固定连接，且两个电磁铁分别与两个外部独立电源连接。

优选的，所述连接弧板的数量为两个，且两个所述连接弧板的厚度相同，均为所述外圆环槽厚度的一半，一个所述连接弧板与外圆环槽的外侧接触，另一个所述连接弧板与外圆环槽的内侧接触，且两个所述连接弧板的外侧分别与相对应的两个所述滑块的外侧平齐。

优选的，所述转动环板的一侧均通过固定栓分别与两个所述连接弧板固定连接，且与炉体的一侧接触。

本发明具备以下有益效果：

1、该太阳能光伏电池制造用扩散炉，通过SiC桨在炉体内的匀速转动，在加热时，可以始终保持石英舟的半侧露于外部加热，另外半侧被SiC桨包围，且两部处于不断的更替状态，因此加热部位处于匀速变换状态，即可提高加热的均匀性，同时两个SiC桨在转动时，始终有一部分处于石英舟的底部，对石英舟起到支撑作用，因此也可以保证石英舟在加热时，处于稳定的状态。