[发明专利]光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法

说明书

一种光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法。本揭示描述了一种当光阻剂清洗流过新光阻剂过滤器时，可以用来移除光阻剂中空气微气泡的方法。例如，该方法包括使光阻剂流过光阻剂过滤器以移除捕集在光阻剂通过光阻剂过滤器中产生的空气微气泡；在缓冲槽中收集具有空气微气泡的光阻剂；在缓冲槽中移除光阻剂中的空气微气泡；以及将没有空气微气泡的光阻剂从缓冲槽转移到光刻设备。

技术领域

本揭露涉及一种光阻剂分配系统及一种光阻剂的回收方法。

背景技术

光阻剂分配系统的光阻剂过滤器替换过程中，使光阻剂流过光阻剂过滤器循环以预润湿过滤器并移除捕集在过滤器中的空气。而循环流过过滤器的光阻剂因具有气泡且无法使用，因此必须被丢弃。废弃的光阻剂增加了半导体制程的制造成本。

发明内容

本揭露提供一种光阻剂分配系统，其包括光阻剂贮存器、光阻剂过滤器、泵、光阻剂回收设备、第一光阻剂通道与第二光阻剂通道。泵被配置为泵送光阻剂穿过光阻剂过滤器并将过滤的光阻剂分配到光刻设备。光阻剂回收设备包括缓冲槽。第一光阻剂通道在泵的出口与缓冲槽之间。第二光阻剂通道在缓冲槽的出口与泵的入口之间。

本揭露提供一种光阻剂的回收方法，其包括使光阻剂流过光阻剂过滤器以移除捕集在光阻剂过滤器中的空气，其中被捕集的空气在光阻剂中形成空气微气泡；在缓冲槽中收集具有空气微气泡的光阻剂；在缓冲槽中从光阻剂移除空气微气泡；以及将没有空气微气泡的光阻剂从缓冲槽转移到光刻设备。

本揭露提供一种光阻剂分配系统，其包括光阻剂贮存器、泵、光阻剂过滤器与光阻剂回收设备。光阻剂贮存器用于储存光阻剂。泵包括进料隔室和分配隔室，其中泵被配置为将光阻剂分配到光刻设备。光阻剂过滤器流体连接到泵的进料隔室和分配隔室。光阻剂回收设备被配置为接收用于清洗光阻剂过滤器的光阻剂，其中光阻剂回收设备包括缓冲槽与四通阀。缓冲槽被配置为移除在接收的光阻剂中捕集的空气，且包括一个或多个光阻剂感测器位于缓冲槽的底面处与光阻剂出口处。四通阀流体连接到缓冲槽和泵。

附图说明

当结合附图阅读时，从以下详细描述可以最好地理解本揭露的各方面。应注意，根据行业中的常规实践，各种特征未按比例绘制。实际上，为了论述的清楚性，可以任意地增大或缩小各种特征的尺寸。

图1是根据本揭示的一些实施例在过滤器替换操作的示例性光阻剂回收过程流程图；

图2是根据本揭示的一些实施例具有光阻剂回收设备的示例性光阻剂分配系统；

图3是根据本揭示的一些实施例的缓冲槽的剖视图；

图4是根据本揭示的一些实施例具有光阻剂回收设备的示例性光阻剂分配系统；

图5是根据本揭示的一些实施例的缓冲槽的剖视图；

图6是根据本揭示的一些实施例的不具有光阻剂回收设备的示例性光阻剂分配系统。

【符号说明】

100 方法

110 操作

120 操作

130 操作

140 操作

200 光阻剂贮存器

210 二级槽

215 四通阀

220 两级泵

220A 进料隔室

220B 分配隔室

225 两级泵入口

230 过滤器

235 两级泵出口