[发明专利]用于激光显示的激光光源有效
申请号: | 201910573109.7 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN110265870B | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 郑婉华;徐林海;王宇飞;贾宇飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 马莉 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 激光 显示 光源 | ||
1.一种用于激光显示的激光光源,包括:
FP谐振腔区,包括平行的第一端和第二端;
第一谐振腔区,包括以后腔面和FP谐振腔区的第一端形成的带切口的第一圆形区域;
第二谐振腔区,包括以出光面和FP谐振腔区的第二端形成的带切口的第二圆形区域;
其中,第一谐振腔区和第二谐振腔区,通过回音壁模式的破缺演化为混沌模式,在经过FP谐振腔区时发生部分干涉,降低混沌模式数来提高激光的出射方向性。
2.根据权利要求1所述的用于激光显示的激光光源,其特征在于,所述第一圆形区域的第一圆心到所述后腔面的距离为d3,所述第二圆形区域的第二圆心到所述出光面的距离为d4,所述第一圆心到所述第一端的距离为d1,所述第二圆心到所述第二端的距离为d2,所述第一圆形区域的第一半径为R1,所述第二圆形区域的第二半径为R2,R1≠R2、d1≠d2、且d3≠d4。
3.根据权利要求1所述的用于激光显示的激光光源,其特征在于,所述后腔面和出光面通过解理形成。
4.根据权利要求1所述的用于激光显示的激光光源,其特征在于,所述第一谐振腔区、第二谐振腔区以及FP谐振腔区的刻蚀深度超过有源区。
5.根据权利要求1所述的用于激光显示的激光光源,其特征在于,所述FP谐振腔区上设置有波长量级的随机空气孔。
6.根据权利要求1所述的用于激光显示的激光光源,其特征在于,所述激光光源采用电注入模式,电极设置在所述第一谐振腔区、第二谐振腔区和FP谐振腔区的上方。
7.根据权利要求1所述的用于激光显示的激光光源,其特征在于,所述后腔面镀有高反膜,所述出光面镀有高透膜。
8.根据权利要求4所述的用于激光显示的激光光源,其特征在于,所述有源区为多量子阱或者单量子阱。
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