[发明专利]一种激光清洗的对焦方法及装置有效
申请号: | 201910573495.X | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110153108B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 巩马理 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;G02B7/28;G02B27/40 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 苗晓静 |
地址: | 100084 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 清洗 对焦 方法 装置 | ||
1.一种激光清洗的对焦方法,其特征在于,包括:
利用具备第一波长的对焦光束对清洗激光的聚焦焦点与被清洗物体表面的距离进行测量给出离焦信息;其中,所述对焦光束的焦点与所述清洗激光的焦点在被清洗物体的表面具有相同位置,所述第一波长和所述清洗激光的波长不同,且所述对焦光束对激光清洗附属产物具备最大穿透率;
将所述离焦信息通过光电传感器转换成电信号,并将所述电信号作为自动调焦控制单元的误差信号使自动调焦控制单元驱动清洗透镜移动进而进行调焦控制,实现对于激光清洗的自动调焦;
所述方法还包括:通过对于所述激光清洗附属产物的穿透性测试,确定所述对焦光束的所述第一波长,所述通过对于所述激光清洗附属产物的穿透性测试,确定所述对焦光束的所述第一波长,具体包括:
在所述清洗激光清洗物体表面时,利用第一测试透镜将变波长光束产生器输出的对焦光束进行聚焦,并且所述对焦光束的焦点与所述清洗激光的焦点在同一位置;所述对焦光束经过被清洗物体表面反射后被第二测试透镜汇聚并经过波长可变的滤光片后进入探测器,所述探测器的电信号经过处理器给出光强信号;保持所述对焦光束的功率并变化所述对焦光束的波长,使所述光强信号的强度最大,此时所述对焦光束的波长即为所述第一波长。
2.根据权利要求1所述的激光清洗的对焦方法,其特征在于,所述对焦光束与所述清洗激光具有不同的波形;在所述将所述离焦信息通过光电传感器转换成电信号之后,所述将所述电信号作为自动调焦控制单元的误差信号使自动调焦控制单元驱动清洗透镜移动进而进行调焦控制之前,所述方法还包括:
对所述电信号进行解码或滤波处理,以剔除残留的所述激光清洗附属产物的信号。
3.根据权利要求1所述的激光清洗的对焦方法,其特征在于,所述方法还包括:
通过编码或调制改变所述对焦光束的波形,使得所述对焦光束与所述清洗激光具有不同的波形。
4.根据权利要求1所述的激光清洗的对焦方法,其特征在于,所述对焦光束为激光光束。
5.根据权利要求1所述的激光清洗的对焦方法,其特征在于,所述激光清洗附属产物包括所述清洗激光在清洗过程中产生的激光清洗火焰和/或激光清洗烟尘。
6.一种激光清洗的对焦装置,其特征在于,包括相互连接的光电传感器和自动调焦控制单元;
所述光电传感器用于将对焦光束获取的离焦信息转换成电信号,并输出给所述自动调焦控制单元;所述自动调焦控制单元用于将所述电信号作为误差信号驱动清洗透镜移动进而进行调焦控制,实现对于激光清洗的自动调焦;
其中,所述对焦光束的焦点与清洗激光的焦点在被清洗物体的表面具有相同位置;所述对焦光束具备第一波长,所述第一波长和所述清洗激光的波长不同,且所述对焦光束对激光清洗附属产物具备最大穿透率;
所述装置还包括波长确定单元,所述波长确定单元包括光路上顺次设置的变波长光束产生器、第一测试透镜、第二测试透镜、波长可变的滤光片、探测器及处理器;
所述变波长光束产生器用于产生对焦光束,并将所述对焦光束射向所述第一测试透镜;所述第一测试透镜用于将所述对焦光束进行聚焦,并且使所述对焦光束的焦点与所述清洗激光的焦点在同一位置;所述对焦光束经过被清洗物体表面反射后被所述第二测试透镜汇聚并经过所述波长可变的滤光片后进入所述探测器,所述探测器的电信号经过所述处理器给出光强信号。
7.根据权利要求6所述的对焦装置,其特征在于,所述对焦光束与所述清洗激光具有不同的波形;在所述光电传感器和所述自动调焦控制单元之间,所述装置还包括时域去噪单元,所述时域去噪单元包括解码单元或滤波单元;所述时域去噪单元用于对所述电信号进行解码或滤波处理,以剔除残留的所述激光清洗附属产物的信号。
8.根据权利要求6所述的对焦装置,其特征在于,所述装置还包括编码单元或调制单元;所述编码单元或所述调制单元用于通过编码或调制改变所述对焦光束的波形,使得所述对焦光束与所述清洗激光具有不同的波形。
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