[发明专利]硅片分选机

说明书

本发明涉及一种硅片分选机，包括：硅片传送装置；脏污检测工位，具有用以扫描硅片的脏污模组；以及控制系统，用以接收所述脏污模组的扫描信息，并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常；当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，所述控制系统控制所述硅片传送装置停止运行。上述硅片分选机，控制系统可以通过脏污模组扫描硅片获得的信息，判断硅片是否存在碎片异常。当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，则可判断有破碎的硅片落至脏污模组上。此时通过控制系统控制硅片传送装置停止运行，以方便操作人员对脏污模组进行清理，以避免因破碎的硅片导致后续具有脏污现象的硅片漏检，从而有效提高检测合格的硅片的良率。

技术领域

本发明涉及硅片分选领域，特别是涉及一种硅片分选机。

背景技术

硅片分选机用以在硅片制作完成后对硅片进行检测，其中包括对表面脏污的硅片进行筛选。

一般的，通过脏污模组对硅片进行扫描。脏污模组将扫描信息传递给控制系统，控制系统根据脏污模组的扫描信息判断硅片表面是否存在脏污现象。然而，在硅片的生产、清洗或运输等过程中，难以避免的会导致硅片碎片现象。当破碎的硅片部分或全部落在脏污模组上时，必将遮挡光源，导致具有脏污现象的硅片难以被检测到，影响检测合格的硅片的良率。

发明内容

基于此，有必要提供一种可以有效提高检测合格的硅片的良率的硅片分选机。

一种硅片分选机，包括：

硅片传送装置；

脏污检测工位，具有用以扫描硅片的脏污模组；以及

控制系统，用以接收所述脏污模组的扫描信息，并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常；当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，所述控制系统控制所述硅片传送装置停止运行。

上述硅片分选机，控制系统可以通过脏污模组扫描硅片获得的信息，判断硅片是否存在碎片异常。当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，则可判断有破碎的硅片落至脏污模组上。此时通过控制系统控制硅片传送装置停止运行，以方便操作人员对脏污模组进行清理，以避免因破碎的硅片导致后续更多的具有脏污现象的硅片漏检，从而有效提高检测合格的硅片的良率。

在其中一个实施例中，当连续预设个硅片被判断为存在碎片异常时，所述控制系统控制所述硅片分选机停机。

在其中一个实施例中，当所述脏污模组为电荷耦合器件图像传感器。

在其中一个实施例中，当连续五个硅片被判断为存在碎片异常后，所述控制系统控制所述硅片传送装置停止运行。

在其中一个实施例中，当还包括警报装置；当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，所述控制系统可发送信号给所述警报装置以发出警报。

在其中一个实施例中，当所述警报装置为声音警报器。

在其中一个实施例中，当还包括显示屏；当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，所述控制系统发送信号给所述显示屏，以使所述显示屏弹出报警对话框。

在其中一个实施例中，当还包括与所述硅片传送装置对接的待复测硅片收集容器；当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，所述控制系统控制所述硅片传送装置将连续预设个被检测为存在碎片异常的硅片传送至所述待复测硅片收集容器。

在其中一个实施例中，还包括第一碎片检测工位；所述硅片传送装置可将第一碎片检测工位检测合格的硅片运输至所述脏污检测工位。

在其中一个实施例中，还包括第二碎片检测工位，所述硅片传送装置可将所述脏污检测工位检测存在碎片异常的硅片运输至所述第二碎片检测工位。

附图说明

图1为本发明一实施例提供的硅片分选机的俯视示意图。