[发明专利]一种微型过滤器及声学设备在审
| 申请号： | 201910577035.4 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110351618A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;B01D46/54 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属薄膜 不粘层 微型过滤器 声学设备 背腔 基底 通孔 颗粒粘附 外侧表面 灵敏度 传感器 排布 涂覆 悬置 保证 | ||
1.一种微型过滤器，其特征在于，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的金属薄膜；且所述金属薄膜的外侧表面涂覆有不粘层；所述不粘层与颗粒之间的粘性低于金属薄膜与颗粒之间的粘性；所述金属薄膜及不粘层上具有排布的通孔。
2.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述不粘层为硅氧烷化合物涂层或者含氟聚合物涂层。
3.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述不粘层选用特氟隆涂层。
4.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述涂层设置有两层，分别位于金属薄膜相对的两侧。
5.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述金属薄膜被配置为具有压应力；所述不粘层被配置为具有拉应力；或者，所述金属薄膜被配置为具有拉应力；所述不粘层被配置为具有压应力；
所述金属薄膜、不粘层被配置为降低整个膜层的应力。
6.根据权利要求5所述的微型过滤器，其特征在于，所述膜层的应力在-300MPa至300MPa之间。
7.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述金属薄膜采用金属玻璃。
8.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述基底采用聚合物材料、金属、硅或者SiO2。
9.一种声学设备，其特征在于，包括根据权利要求1至8任一项所述的微型过滤器。
10.根据权利要求9所述的声学设备，其特征在于，所述声学设备为麦克风模组或者麦克风芯片。
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