[发明专利]一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置

权利要求书

1.一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，包括：擦拭轴组件、无尘布放料装置、酒精喷涂装置和CCD相机组件；

所述擦拭轴组件包括：X擦拭轴直线模组、X轴驱动伺服电机、X轴转换连接板、Z擦拭轴压力固定立板、加强板、Z擦拭轴直线模组和Z轴驱动服电机；

所述X轴驱动伺服电机与所述X擦拭轴直线模组连接，所述X擦拭轴直线模组与所述Z擦拭轴压力固定立板连接，所述无尘布放料装置与所述Z擦拭轴直线模组固定连接，所述Z轴驱动服电机与所述Z擦拭轴直线模组顶端连接，所述加强板与所述Z擦拭轴压力固定立板的后侧面连接；

所述酒精喷涂装置设有无尘布放料轴和收料轴；所述CCD相机组件包括CCD相机、远心镜头和光源；所述酒精喷涂装置包括移动气缸、水平移动轴和酒精喷嘴；

所述酒精喷涂装置与所述CCD相机组件连接。

2.根据权利要求1所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述无尘布放料装置还包括：固定底板、收料轴、无尘布卡紧轴、无尘布收料驱动电机、擦拭轮支撑板、擦拭轮、擦拭压力传感器、无尘布放料轴和张紧驱动电机；

所述无尘布放料装置还包括无尘布和支撑杆，所述无尘布一端设置在所述无尘布放料轴上，另一端绕过所述无尘布卡紧轴和所述支撑杆并设置在收料轴上，所述支撑杆设置有两根，所述支撑杆用于支撑以及限定无尘布运行路径。

3.根据权利要求2所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述固定底板与所述Z擦拭轴直线模组连接，所述收料轴和所述无尘布卡紧轴均安装在所述固定底板上的轴孔中，所述无尘布收料驱动电机设置在所述固定底板上，所述擦拭轮支撑板与所述固定底板垂直固定并设于所述无尘布放料轴下方，所述擦拭轮安装在所述擦拭轮支撑板上，所述张紧驱动电机固定安装于所述固定底板的一侧，所述张紧驱动电机设有传动轴，所述传动轴设于所述固定底板上的传动轴孔中，所述张紧驱动电机通过传动轴连接所述无尘布放料轴，用于平稳无尘布的张紧力。

4.根据权利要求3所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述张紧驱动电机用来平稳无尘布的张紧力。

5.根据权利要求3所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述擦拭压力传感器设置在擦拭轮支撑板上，用于测量擦芯片时的实时压力。

6.根据权利要求1所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述酒精喷涂装置包括：移动气缸、气缸连接板，水平移动轴、支柱固定夹、酒精喷嘴、压力表和酒精储存罐；

所述气缸连接板与所述移动气缸侧面连接，所述气缸连接板上设有所述水平移动轴，所述支柱固定架固定在所述水平移动轴上，所述酒精喷嘴与所述支柱固定架连接，所述移动气缸底面与固定块连接；

通过一定的空气压力将所述酒精储存罐中的的酒精输送到酒精喷嘴，所述酒精移动气缸通过推动所述水平移动轴，使得酒精喷嘴移动到芯片擦拭轮处，将酒精喷洒到无尘布上。

7.根据权利要求1所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述CCD相机组件包括：CCD相机、CCD相机固定板、光源、CCD相机固定支撑板、光源固定板、固定板、远心镜头和镜头调节支撑板；所述光源固定板安装在所述CCD相机固定支撑板上，所述光源固定在所述光源固定板上，所述光源连接所述远心镜头，所述远心镜头与所述CCD相机连接，所述CCD相机设置在所述镜头调节支撑板上，所述镜头调节支撑板与所述CCD相机固定支撑板固定连接，所述固定板与所述酒精喷涂装置连接。

8.根据权利要求7所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述，被擦拭芯片固定在CCD相机上方，通过所述CCD相机拍照来确定清洁效果。

9.根据权利要求7所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述X擦拭轴直线模组通过所述X轴驱动伺服电机驱动，可在擦拭位与酒精喷涂位之间直线移动。

10.根据权利要求1所述的一种自动CMOS芯片擦拭清洁装置，其特征在于，所述Z擦拭压力轴通过所述Z轴驱动服电机驱动，使得所述Z擦拭压力轴接触到芯片，并给予其相应压力，所述X擦拭轴直线模组来回移动距一段距离对芯片擦拭，设置擦拭次数，完成设置的擦拭次数后，所述X擦拭轴直线模组退回酒精喷涂位，完成擦拭清洁过程。